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* * 为了补偿或减小这一原理误差,我们采用了误差的综合补偿法。方法如下: 在刻度盘及内部结构都已经确定的情况下,我们采用增长杠杆短臂a的方法,来看误差变化的情况。 由图3-33可以看出,增长杠杆短臂a至a’,测量同样的s, 减小,因此,传递上去的 减小,则误差减小。由图3-34我们看看全行程误差变化曲线。 * * 通过最小二乘估计法运算,可以得出如下结论,当使 让此处的误差等于零,那么最大原理误差 显然减小1/4,此时, * * 2)正切机构原理 位于焦平面上的分划板,其刻度时按公式 进行,但成像时,主光线成像规律为 ,显然,读数 ,原理误差为负。 * * 由于透镜焦距不能改,采用刻度 时以新的来进行。并让 处的误差等于零,此时,最大误 差为原误差的1/4。 * * (1) 丝杆动态测量仪对环境条件及温度变化影响的补偿 * * 用圆光栅作测量转角的角度标准,用激光波长作测量线位移的长度标准。利用同步测量角位移和线位移,把两路信号通过比相,或通过比较两路信号的脉冲个数,而实现对丝杠参数的检验。 仪器在工作过程中,由于温度的影响,被测丝杠将伸长可缩短,此外,当环境温度、气压、湿度偏离标准状态时,激光波长也将发生变化,这些都将带来测量误差。 下面介绍的补偿方案,是假定在测量过程中,环境的温度、气压和湿度虽偏离了标准状态,但不再变化。因此,这些因素引起的误差,可看作是与测量长度成线性关系的系统误差,在全长上的误差是线性累加的。根据这样的考虑,因此,可以采用在激光一路信号中增减脉冲数的办法来进行补偿的方案。 * * 在补偿时, ① 先测出环境的温度、气压和湿度, ② 计算得每米累积补偿量为5μm。 ③ 工作台每移动半个波长,激光一路发出一个脉冲,所以5μm相当于5μm /(λ/2)=N1个脉冲,N1个脉冲数需要在1m长度内给以均匀补偿。 1m长度内的激光脉冲数为M1=1000,000μm /(λ/2)。因此,每隔 M1/ N1= 2×105激光脉冲时,对激光信号增减一个信号。 * * 三.测量链最短原则 测量链:仪器中直接感受标准量和被测量的有关元件,如被测件、标准件、感受元件、定位元件等均属于测量链。 在精密测量仪器中,根据各环节对仪器精度影响程度的不同,可将仪器中的结构环节区分为测量链、放大指示链和辅助链三类。 测量链的误差对仪器精度的影响最大,一般都是1:1影响测量结果。因此,对测量链各环节的精度要求应最高。 因此测量链最短原则显然指一台仪器中测量链环节的构件数目应最少,即测量链应最短。因此,敏感链最短原则作为一条设计原则要求设计者予以遵守。 * * 四. 坐标系统一原则 以上几条设计原则,一般都是从某台仪器总体出发考虑的。而坐标系统一原则,则是对仪器群体之间的位置关系,相互依赖关系来说的,或主要是针对仪器中的零件设计及部件装配要求来说的。 对零部件设计来说,这条原则是指:在设计零件时,应该使零件的设计基面、工艺基面和测量基面一致起来,符合这个原则,才能使工艺上或测量上能够较经济地获得规定的精度要求而避免附加的误差。 例如,图3-18及3-19所示的零件,如何使设计基准、测量基准和工艺基准重合. * * 图3-18顶尖支承法测径向圆心跳动图 3-19 V形支承法测径向圆心跳动 * * 对仪器群体之间的位置关系,相互依赖关系来说, 这条原则是指:设计某台仪器时,应考虑到该仪器的坐标系统在主坐标系统中的转换关系与实现转换的方法。现代测控系统的发展,除了仪器本身向动态、多自由度、闭环控制方向发展外,还需要多个仪器的配合工作。 例如,图3—24中所示的汽车白身整体误差的检测项目,应用了多个坐标系统来完成测量要求。 * * * * 数控加工设备用刀具预调仪 1-工作台 2-X向导轨 3-被测刀具 4-计算机监视器 5-CCD摄像头 6-Z向导轨 7-Z向滑架 8-光源 * * 五. 精度匹配原则 精度分析,按影响程度,提出不同的精度要求、精度分配。 系统误差分配 完成原理及方案设计之后进行。 计算原理性的系统误差?找出系统性源误差?给出该环节的具体系统误差值?局部系统误差?合成总系统误差 △系≤1/3 △S,可认为初步分配合理。 * * 随机误差分配 随机误差和未定系统误差分配同时进行。 △Σ= △S - △k 根据等作用原则与加权作用原则分配总随机误差。 1. 等作用原则:每个源误差所产生的局部误差是相等的,对仪器总精度的影响相同。 2. 加权作用原则:影响不同、误差控制的难易程度不同
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