0.35um以上模拟工艺介绍2015.5.28东大.pdfVIP

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2020-01-25 发布于广东
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0.35um以上模拟工艺介绍 CSMC Confidential Definition FAB2 Analog工艺实际上是指数模混合电路（mix mode process)  Digital: 逻辑运算、开关转换等；只有“0”和“1”两个工作状态  Analog: ADC, DAC, Amplifier, Filter等等；信号是连续的 Analog为连续信号 Digital为0/1开关信号关开 CSMC Confidential Application 模拟工艺产品应用广泛，各种大小电子产品中均有涉及目前FAB2在制品中，比较常见的包括LED/LCD driver ，功放，电源管理，LDO ，手机外围电路，AD/DA converter ，RF ，等等 CSMC Confidential 0.35um Mix/Logic MOS 3.3V NMOS/PMOS: • 60A Gox NW PW LV PMOS LV NMOS 5V NMOS/PMOS: • 125A Gox NW PW • Dual gate process, 1st oxide 85A, 2nd oxide 60A HV PMOS HV NMOS CSMC Confidential Process Flow （以0.35um mix工艺为例） CSMC Confidential SDG layer QUESTION: How to determine Pad oxide and SiN thickness? First,the larger nitride/pad oxide thickness ratio,the smaller bird’s beak at the same field oxide thickness; Second, the thickness the pad oxide,the less edge force is transmitted to the silicon from the nitride; FOX FOX