行业标准《氧化铌靶材》编制说明.docVIP

《氧化铌靶材》行业标准征求意见稿 编制说明 一、工作简况 1.任务来源 根据全国有色金属标准化技术委员会有色标委[2010]21号文件“关于转发工信部《关于印发2010年第一批行业标准修订计划的通知》的函”，《氧化铌靶材》行业标准由西北稀有金属材料研究院负责修订。项目计划号为2010-0483T-YS，项目完成年度为2011年。 2. 主要工作过程 Nb2O5靶材主要通过磁控溅射法制备等离子显示器彩色滤光膜的材料，是用来提高等离子显示器的亮度和可视角度，是等离子显示器重要的镀膜材料之一。随着近几年等离子显示器技术升级和迅速发展，对氧化铌靶材的需求量逐年增大。 西北稀有金属材料研究院接到《氧化铌靶材》制订任务后，成立了标准编制小组，组织生产、质量、科技和销售部门对标准进行了编定，整理了产品的技术要求和规格，并根据目前公司的生产和质量水平进行讨论和论证，并结合客户质量要求提出制定意见，在此基础上形成标准的征求意见稿。 二、标准编制原则和确定标准主要内容的论据 1．编制原则 1.1符合性：本标准按照GB/T1.1-2009《标准化工作导则第一部分：标准的结构和编写规则》的要求进行编写，并符合TCS2009《中国标准编写模板》国家标准的电子文本要求。 1.2适应性：制订的标准反映了国内生产企业的先进技术水平，便于生产，易于应用。 1.3先进性：氧化铌靶材的目前主要有新加坡贺利士、台湾光洋已经形成了大批量的销售。 西材院经过几年的自主研发，采用热压法生产出符合用户需求的氧化铌靶材，并且大批量的销往国际市场。此标准的制定将对国内生产企业及相关行业的技术进步产生积极的促进作用。 2.主要技术内容说明 由于氧化铌靶材国内外生产厂家较少，且缺乏相应的数据资料，没有统一的标准可供参考，本标准所确定的技术参数，主要是通过客户的技术要求和实际使用效果，并根据实际生产的产品，经检测分析后确定了相应的指标。 2.1化学成分 氧化铌粉末的化学成分决定了氧化铌靶材的化学成分，因此氧化铌靶材的纯度及杂质主要参考了氧化铌粉末的化学成分，根据用户的要求靶材的纯度≥4N，其他杂质含量综合参照了国内几个厂家的粉末进行分析，其中宁夏东方钽业及九江有色金属冶炼厂的粉末适合本靶材的使用，用其制备的氧化铌靶材的化学成分经综合分析，并根据市场的实际需求具体化学成分见表1 表1化学成分 Nb2Ox 不小于 杂质含量，不大于ppm Ta Fe Si Al Cr Cu Mn Mo Ni Sn Ti W 99.99% 80 10 50 10 10 10 10 10 10 10 10 10 2.2密度 Nb2O5靶材理论密度4.55 g/cm3，经过试验研究，目前可达到到4.5g/cm3以上，最高达到4.54 g/cm3，得到用户的好评。产品密度≥4.50g/cm3既可满足用户要求，实际生产中比较容易做到。 2.3尺寸偏差及电阻率 尺寸偏差及电阻率是根据实际用户的要求，且在实际生产中也比较容易达到。 三、标准水平分析，包括： 与国内主要生产厂家产品各项技术指标相比，本标准属于国内先进水平。 四、与有关的现行法律、法规和强制性国家标准的关系 本标准的修订符合国家相关法律法规的规定。 五、重大分歧意见的处理经过和依据 无。 六、标准作为强制性或推荐性标准的建议 建议本标准为推荐性行业标准。 七、贯彻标准的要求和措施建议 无。 八、废止现行有关标准的建议 无 九、其他应予说明的事项 无。 十、预期效果 《氧化铌靶材》行业标准的制订考虑了我国氧化铌靶材的发展现状和工艺技术水平以及市场需求，遵循标准制定的各项原则，反应了我国氧化铌靶材先进的生产技术，积极促进该产业的发展。该标准的实施在未来几年内将满足不断扩大的氧化铌靶材市场的需求。