材料成形检测与控制6电容传感器.pptVIP

2.5电容式传感器 SHENYANG UNIVERSITY OF TECHNOLOGY 电容式传感器 电容式传感器是将被测非电量的变化转换为电容量变化的一种传感器，可用于位移、震动、压力和液位等物理量的测量。结构简单、高分辨力、可非接触测量，并能在高温、辐射和强烈振动等恶劣条件下工作，这是它的独特优点。缺点是寄生电容和外界干扰影响严重。 电容式传感器工作原理、结构和特性 由绝缘介质分开的两个平行金属板组成的平板电容器，当忽略边缘效应影响时，其电容量与真空介电常数ε0 (8.854×10－12F/m)、极板间介质的相对介电常数εr、极板的有效面积A以及两极板间的距离δ有关： C =ε0εrA/δ ?????????????????????????????? 若被测量的变化使式中δ、A、εr三个参量中任意一个发生变化时，都会引起电容量的变化，再通过测量电路就可转换为电量输出。因此，电容式传感器可分为变极距型、变面积型和变介质型三种类型 。  变极距型电容传感器  下图为这种传感器的原理图。当传感器的εr和A为常数，初始极距为δ0 ，由式可知其初始电容量C0为 变面积型电容传感器 　　 它与变极距型不同的是，被测量通过动极板移动，引起两极板有效覆盖面积A改变，从而得到电容的变化。设动极板相对定极板沿长度ｌ0方向平移Δｌ时，则电容为  ?????