材料研究方法与实验_03-SEM-2.pdf

SEM--神奇的微观世界 2012.11.27 参数影响 加速电压 电子束减速 工作距离 光阑 扫描模式 探测器 制样 扫描模式  TV模式，刷新率高达25桢/秒，图像平滑流畅，寻找观察 样品区域时减轻肉眼疲劳；  FAST模式，FAST模式刷新率比TV模式降低一半左右， FAST1和FAST2模式图像刷新率相同，只是可以设定不同 的帧平均数；  SLOW模式，SLOW1到SLOW5的图像刷新率逐渐下降， 这样观察到的图像信噪比变好；  CS Scaning线平均快速扫描，对于有轻微荷电的样品非 常有效，既能够保证足够的清晰度又可以减轻甚至消除 荷电现象，当然对导电性好的样品还是建议用SLOW模式 拍照，CS Scaning的图像清晰度是介于积分模式和慢扫模 式之间的；  Integration是积分模式，它是通过获取多帧快扫图片通 过叠加处理得到的照片，适用于荷电现象不太严重的情 况，即FAST模式下没荷电而SLOW模式下有荷电，但有 时候图像清晰度不够理想。 扫描模式对形貌的影响 羟基磷灰石片状组装结构 相同区域 SLOW模式40秒捕捉 CS模式40秒捕捉 •相同区域，相同加速电压、束流 探测器选择对图像质量的影响 ZnO薄膜 探测器：SE Upper Detector 探测器：SE Lower Detector •相同区域、相同加速电压、束流 •SE下探测器，直接安装在物镜下方，二次电子捕捉角度较小， 不同晶面SE信号量不同，立体感强 •SE上探测器，安装在物镜上方，二次电子经过物镜中间的磁场， 根据Fleming左手定律，二次电子受磁场力作用，最终才被二次 电子上探测器捕捉，高角度，分辨率高 二次电子探测器示意图 增强立体感的其他方式 倾斜试样(30度倾斜) 二次电子下探测器 减速模式 探测器选择对图像质量的影响 牛的牙釉质 低倍率时，牙釉 柱的高度起伏通 过下探测器观察 更加明显，立体 感强；但下探测 相同区域 器不利于细小裂