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Q/JCAP
江阴长电先进封装有限公司企业标准
Q/0510JCAPCI21001-2019
自动化通用设备模型规范
JCAP SECS-GEM Spec
2019-10-25 发布 2019-10-25 实施
江 阴 长 电 先 进 封 装 有 限 公 司
目 次
前言 II
1 范围 1
2 缩略语 1
3 职责 1
4 内容 1
4.1 接口 1
4.2 原始数据 2
4.3 操作功能 3
4.4 机台软件测试需求 3
4.5 硬件要求 3
4.6 电子标签读取需求 3
4.7 AMHS 需求 4
4.8 SECS/GEM 详细需求 4
4.9 自动化系统功能需求 8
参考文献 15
I
前 言
本标准由江阴长电先进封装有限公司、北京机械工业自动化研究所有限公司提出。
本标准起草单位:江阴长电先进封装有限公司、北京机械工业自动化研究所有限公司。
本标准主要起草人:章志明、尹作重、任建勋、唐聪
II
JCAP SECS-GEM 要求规范
1 范围
本文件适用于JCAP所有使用SECS/GEM的机台。
2 缩略语
下列缩略语适用于本文件。
SECS:半导体设备通讯标准(SEMI equipment communication standard)
SEMI :半导体设备与材料国际协会 (Semiconductor equipment and materials
international)
GEM:通用设备模型 (General equipment model)
3 职责
3.1 JCAP 当前已经通过SECS/GEM 使用自动化系统的机台型号,后续购买必须符合本规范。
3.2 设备当前没有通过标准SECS/GEM 实现自动化的,但是决定要走标准自动化系统的,机
台需要符合本规范。
3.3 机台采购,相关制程设备需要联系CIM 部门进行机台自动化通讯模块的评估。如机台
无法具备标准SECS/GEM 通讯模块,CIM 需要跟制程设备及生产部门确定该机台无需自动化。
4 内容
4.1 接口
4.1.1 设备必须具备SECS I,SECS II HSMS 并符合GEM 的能力。
4.1.2 设备需要有RS232 (串口)及HSMS (TCPIP 以太网10M、100M、1G)通讯口来跟主系
统通讯。如机台在一小时内超过2 次有超过1 分钟的程式的上传下载,则必须使用HSMS。
4.1.3 接口设定
HSMS TCP/IP接口的主要设定:
1. Connection Mode : Passive
2. Remote IP Address : 0.0.0.0
3. Remote IP Port : 5000-6000 (5000)
4. Local IP Address : 0.0.0.0
5. Local IP Port : 5000-6000 (5000)
6. Link Test Timer : 0 –86400 sec (60 sec)
7. HSMS T3 : 1 –
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