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第7章 表面分析方法 ;7.1. 概论;7.2. 光电子能谱法;物质受光作用释放出电子的现象称为光电效应。
光电离作用：
光子的能量：
; 电子能谱法所能研究的信息深度d取决于逸出电子的非弹性碰撞平均自由程λ。
所谓平均自由程(电子逸出深度)是指电子在经受非弹性碰撞前所经历的平均距离。电子平均自由程λ与其动能大小和样品性质有关，金属中为0.5 ～ 2 nm，氧化物中为1.5 ～ 4 nm，有机和高分子化合物中为4 ～ 10 nm。一般认为d =3λ。
电子能谱的取样深度一般很浅，在30 nm以内，是一种???面分析技术。; 瑞典Uppsala大学Siegbahn K M(1981年诺贝尔物理学奖获得者)及其同事建立的一种分析方法。
理论依据是Einstein的光电子发射公式（光电效应），实际分析中，不仅用XPS测定轨道电子结合能，还经常用量子化学方法进行计算，并将两者进行比较。
由于各种原子、分子的轨道电子结合能是一定的，XPS可用来测定固体表面的电子结构和表面组分的化学成分，因此，XPS又称为化学分析光电子能谱法（Electron Spectroscopy for Chemical Analysis，ESCA）。;7.2.2.1.电子结合能;7.2.2.2. X射线光电子能谱图;7.2.2.3. 谱峰的物理位移和化学位移;7.2.3. 紫外光电子能谱法;7.2.3.2. 紫外光电子能谱图;7.2.4. 俄歇电子能谱法;7.2.4.2. Auger电子产额;7.2.4.3. Auger电子峰的强度;7.2.4.4. Auger电子的能量;7.2.4.5. Auger电子能谱;7.2.4.5. Auger电子能谱;7.2.5. 电子能谱仪;7.2.5.1. 激发源;7.2.5.2．单色器—电子能量分析器;7.2.5.2．单色器—电子能量分析器;7.2.5.2．单色器—电子能量分析器;7.2.6．电子能谱法的应用;7.2.6.2． X射线光电子能谱法的应用;7.2.6.2． X射线光电子能谱法的应用;7.2.6.2． X射线光电子能谱法的应用;7.2.6.2． X射线光电子能谱法的应用;7.2.6.3. 紫外光电子能谱法的应用;7.2.6.4. Auger电子能谱的应用;7.3. 二次离子质谱法;7.3.2. 二次离子质谱仪;7.4. 扫描隧道显微镜和原子力显微镜;7.4.2. 仪器装置;7.4.3. 应用;7.4.4. 原子力显微镜;7.5. 近场光学显微镜;7.6. 激光共焦扫描显微镜;7.6. 激光共焦扫描显微镜;此课件下载可自行编辑修改，供参考！
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