Q_SC 004-2019柔性化真空镀膜系统.pdf

ICS 23.160 J78 Q/SC 广东世创金属科技股份有限公司企业标准 Q/SC 004—2019 柔性化真空镀膜系统 文稿版次选择 2019 - 10 - 15 发布 2019 - 10 - 15 实施 广东世创金属科技股份有限公司 发 布 Q/SC 004—2019 前 言 本标准按照GB/T 1.1—2009给出的规则编写。 本标准起草单位：广东世创金属科技股份有限公司。 本标准主要起草人：董小虹、梁航、张中弦、黄拿灿、苏志辉。 I Q/SC 004—2019 引 言 现有的对连续带状或板状产品进行镀膜加工的真空等离子体镀膜设备一般包括周期式真空等离子 体镀膜设备和连续式真空等离子体镀膜设备两种，但这两种技术存在技术落后，能耗高，膜厚不均匀， 产量低等以下不足： a) 生产效率低，每生产一炉次就要重新升温和抽真空，生产周期比较长，产出少； b) 能耗高，每生产一炉次就要重新升温和抽真空，消耗大量的电能，同时气体消耗量较高，每生 产一炉次就要打开炉门把多余的工艺气体放掉，然后再充入新的工艺气体补充炉腔； c) 工装夹具复杂； d) 产品利用率低。 本文件则规定了我公司的发明专利产品——柔性化真空镀膜系统的相关技术要求，引入柔性化机 制，提高系统适应内、外环境变化的能力，解决设备利用率低、能耗高等问题，并采用了智能控制系统， 优化工艺、精确生产。 本文件涉及的主要专利如下： a） 发明专利名称：用于真空涂层设备的多功能节流真空管道结构及其控制系统 发明人：董小虹、张中弦、梁航、黄拿灿 专利号：ZL 2013 1 0086634.9 专利申请日：2013年03月18日 专利权人：广东世创金属科技股份有限公司 授权公告日：2018年01月12日 b） 发明专利名称：多功能连续式真空等离子体镀膜系统 发明人：董小虹、王桂茂、区名结 专利号：ZL 2015 1 0260335.1 专利申请日：2015年05月19日 专利权人：广东世创金属科技股份有限公司 授权公告日：2018年04月20日 c） 发明专利名称：通过真空等离子体在工件表面快速沉积的增材制造系统 发明人：董小虹、王桂茂、区名结 专利号：ZL 2016 1 0408276.2 专利申请日：2016年06月09日 专利权人：广东世创金属科技股份有限公司 授权公告日：2019年02月05日 d） 发明专利名称：柔性化多功能真空镀膜设备及其智能控制系统 发明人：董小虹、张中弦、刘志辉、黄拿灿、亚历山大·哥罗沃依 专利号：ZL 2013 1 0554829.1 专利申请日：2013年11月10日 专利权人：广东世创金属科技股份有限公司 授权公告日：2019年03月08日 II