Q_YTNS 002-2019氟甲烷产品标准.pdf

Q/YTNS 扬州大阳日酸半导体气体有限公司企业标准 Q/YTNS 002-2019 氟甲烷产品标准 2019-11-04 发布 2019-11-04 实施 扬州大阳日酸半导体气体有限公司 发 布 Q/YTNS 001-2019 前 言 本标准按 GB/T 1.1—2009 《标准化工作导则第 1 部分：标准的结构和编写》的规定编写。 本 标准由扬州大阳日酸半导体气体有限公司提出。 本标准起草单位：扬州大阳日酸半导体气体有限公司。 本标准主要起草人：江洪。 本标准于2019 年11 月04 日首次发布。 Q/YTNS 001-2019 氟甲烷产品标准 1 范围 本标准规定了氟甲烷产品标准的术语和定义。 本标准适用于扬州大阳日酸半导体气体有限公司生产的氟甲烷标准产品。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 TSG R0006-2014 气瓶安全技术监察规程 GB 16804-2011 气瓶警示标签 3 术语和定义 下列术语和定义适用于本标准。 3.1 载气 —是指将吸附样品后分离的杂质从GC 内色谱柱运输到色谱柱另一端的检测器的惰性气体。 3.2 FID —火焰离子化检测器 （Flame Ionization Detector），用于挥发性碳氢化合物和许多含碳化 合物的检测。 3.3 PDD —脉冲放电检测器（Pulsed Discharge Detector），用于对产品內轻质气体杂质进行检测的 检测器。 4 产品分类 本产品属于电子级气体 5 技术要求 5.1 氟甲烷产品规格指标 1 Q/YTNS 001-2019 氟甲烷产品规格指标 项目 指标 单位 CH F ≥99.99 ≥99.995 % 3 O2 ≤ 20 ≤ 5.0 ppm/v N2 ≤ 70 ≤ 10.0 ppm/v CO2 — ≤ 10.0 ppm/v CO — ≤ 10.0 ppm/v CH4 — ≤ 5.0 ppm/v H O ≤ 10 ≤ 10.0 ppm/v