现代光学测试技术.pptxVIP

光学研究方法（光学测试技术）;§1 领域与特点;;;二、技术特色;三、技术现状;支撑基础：;§2 方法的选择;表 0－4， 由测定对象和测定范围来选择的测试方法;选择测试方法的另一 主要原则是测量灵敏 度和要求的精度。图 0－3 是主要光学测试 方法在尺寸上能达 到的灵敏度（分辨率）。;§43技术发展方向;总复习 第一章 光干涉技术 一、泰曼－格林干涉仪的结构和工作原理 泰曼-格林干涉仪的结构如图 1-16 所示：; 准单色点光源和透镜 L1提供入射的平面波（平行光束），干涉仪的一臂装有参考反射镜 M 1 ，另一臂则装上被测试的光学元件M 2 。光源发出的光经分光镜分光后分别由M 1和被测试的光学元件M 2反射在观察孔处相遇干涉，形成干涉条纹，干涉条纹可用目视观察或用照相机（镜头应位于 L2 的焦点处）把干涉条纹拍摄下来进行分析。根据干涉条纹的变化，就可判断被测光学元件的质量。在图 1－16 中所示泰曼一格林干涉仪中，球面镜 M 2的曲率中心和被测透镜的焦点重合。如果待测透镜没有像差，那么，返回到分束器的反射波将仍是平面的。然而，如果被测透镜有球差、彗差或像散引起波阵面的变形，那么就会清楚地看到具有畸变的一幅干涉条纹图，并且可把干涉条纹拍摄下来进行分析。若把 M 2换成平面镜，就可以检验许多别的光学元件，如梭镜，光学平板等。;三、共