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Silvaco TCAD仿真流程及语法规则第一部分第二部分第三部分语法规则仿真流程语法学习及书写建议0主要内容Page ? 第一部分第二部分第三部分语法规则仿真流程语法学习及书写建议1 仿真流程Page ? 1.1 仿真流程输入命令TCAD仿真流程器件仿真流程工艺仿真流程电路仿真流程Page ? 1.2.1 输入命令输入命令流 go athenaline x loc=0 spac=0.1line x loc=1 spac=0.1line y loc=0 spac=0.02line y loc=10 spac=0.2init c.phos=2e13 oreit=111 two.dtonyplotPage ? 1.2.2 程序运行命令逐行运行实时运算信息Page ? 1.2.3 输出结果实时输出结构文件 *.str日志文件 *.log提取的数据 *.datPage ? 1.2.4 结果分析Tonyplot显示（Display）和分析（Tools）Tonyplot导出数据查看实时输出Page ? 第三部分第二部分第一部分语法学习及书写建议语法规则仿真流程2 语法规则Page ? 2.1 通用格式通用格式，由command和parameter组成“n”为数值型参数，如“10”“c”为字符串参数，如“silicon”“|”表示从中括号中的参数选其1command parameter1=n parameter2=c [ parameter3 | parameter4 ]例子：go athenadiffuse time=36 hours temp=1250 f.o2=1.2solve vgate=0.1 Page ? 2.2 语法规则命令可以简写，以不与其他简写相冲突为原则，如“deposit”可以用“depo”取代不区分大小写命令和参数之间、参数和参数之间以空格分开一行写不完的在该行的末尾加反斜杠“\”(注意“\”前需留有空格)，则下一行和该行将被视为同一个命令“#”进行注释空行不运行Page ? 2.3 参数规则参数类型参数命名单属性：完整单词或缩写，diffuse, left, material, xj多属性参数：单词的连接，2d.max.conc, temp.val, c.phosParameterDescriptionValue RequiredExampleCharacterAny character stringYesmaterial=siliconIntegerAny whole numberYesregion=1LogicalA true or false conditionNogaussianRealAny real numberYesx.min=0.1Page ? 2.4 目录结构示例库一维工艺仿真的子示例库??????可执行程序的快捷方式组件库二维工艺仿真器版本号模型文件、模板、材料参数等用户手册及组件更新的说明文档各版本的新特性说明文档可执行程序二维器件仿真器??????Page ? 2.5 文件类型输入文件“*.in”（DeckBuild界面的仿真输入文件）结构文件“*.str”（工艺仿真或器件编辑器得到的器件结构）器件仿真结果文件“*.log”（器件仿真时存储仿真结果）设置文件“*.set”（Tonyplot的显示设置）掩膜结构文件“*.lay”（光刻的掩膜信息）提取的结果文件“*.dat”（提取得到的数据）“*.lib”（C－编译器编写的函数文件）其他文件类型：“*.sepc”，“*.opt”，…Page ? 第二部分第三部分第一部分仿真流程语法学习及书写建议语法规则3 语法学习及书写建议Page ? 3.1 语法学习学习资料程序自带的EXAMPLE： EXAMPLE路径，X:\ sedatools\ examples\...用户手册： ATHENA手册位置：X:\sedatools\lib\Athena\version_number .R \ docs\athena_users1.pdfSILVACO官方网站 /SILVACO中国 /Page ? 3.2 语法书写建议添加注释、分成多行及空行变参数仿真可用“set”活用“Ctrl＋C”和“Ctrl＋V”增强可读性，便于查找和修改Page ? 3.3 Silvaco TCAD学习建议电脑以及仿真程序始终只是工具，真正的发现还是来自于实践，两者不可偏废电脑只能解决问题而不能提出问题，所以电脑的功能永远有限，要学会寻找问题仿真≠真，尽信软件不如没有软件在使用中学习，而不是在记忆中学习Page ? 4 总结本课的主要内容Silvaco TCAD的仿真流程Silvaco TCAD的语法规则及学习和书写建议下一课主要内容工艺仿真器介绍工艺仿真流程Page