拉晶工艺指导书.docxVIP

拉 晶 工 艺 指 导 书 0 3 3 一、有关说明 （一）、 晶体直径 坩埚转动（连续可调） 液压缸行程 加热功率 - 加热电压 - 加热电流 熔化温度 主炉室真空泵抽速 - 滑阀泵(主泵) - 旋片泵(副泵) 冷态空炉子的极限真空度 冷态炉子的泄漏率（压升法） 允许工作正压 不带泵和走道的空间要求 总设备高度 外围设施 - 冷却水消耗量 - 冷却水压力 绝对压力  最小 最小 最大  最大 最大 最大 大约 大约 最大  1 - 30 rpm 140 kW 0 – 60 Volt 2,300 Amp 1,600 °C 70 l/s 15 l/s ≤ 3 Pa 0.3 Pa/min 20 m /min 2 5 kg/cm 0 kg/c 冷却水回水压力 - 绝对压力 - 冷却水进水温度  最大 最小 最大  1.5 kg/cm 20 °C 25 °C  2 1 4 6. 4 6 . + - 冷却水质量 - pH 值 - 电阻  10 -10  7 - 9 Ohm cm - 硬度  8 ° d  1 - Fe 离子 - Cl 离子  0.1 ppm 10 ppm 备注：冷却水必须过滤，以便过滤脏物和有机悬浮颗粒，否则可能堵塞回路和 产生局部沉淀。详细 信息请参阅PW 800 943 NE 或 ND。 氩气消耗  最大  100 Sl/min - 氩气