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培训资料
前道
一 制绒工艺
制绒目的
消除表面硅片有机物和金属杂质。
去处硅片表面机械损伤层。
在硅片表面形成表面组织,增加太阳光的吸收减少反射。
工艺流程
来料,开盒,检查,装片,称重,配液加液,制绒,甩干,制绒后称重,绒面检查,流出。
单晶制绒
1 号机
槽号
1
2
3
4
5
6
7
8
9
作用
超声
溢流
制绒槽
超声
喷淋
溢流
成份
柠檬酸
/
双氧水+
氨水
纯水
NaOH+IPA+Na SiO
3
纯水
配液
6 瓶
/25L+25L
5 瓶+3 瓶+3 瓶
补加
液
100-150g+1L
无
温度
90/60
60
80
常温
时间
300/600
200/500
1200s
300
300
400
2 号机
槽号
1
2
3
4
5
6
7
8
9
作用
酸腐制绒槽
酸洗
溢流
酸洗
溢流
溢流
喷淋
成份
纯水
HCL
纯水
HF
纯水
配液
16L
12L
补加
液
时间
440 420 400
400
200
400
200
200
300
甩干
喷水(S)
喷氮(S)
延时(S)
压力 MPa
低速/高速(r/m)
温度
30
320
10
0.4~0.7
200/300
128
基本原理
1#超声
去除有机物和表面机械损伤层。
目前采用柠檬酸超声,和双氧水与氨水混合超声。
3#4#5#6#制绒
利用 NaOH 溶液对单晶硅片进行各向异性腐蚀的特点来制备绒面。当各向异性因子 ((100)面与(111)面单晶硅腐蚀速率之比)=10 时,可以得到整齐均匀的金字塔形的 角锥体组成的绒面。绒面具有受光面积大,反射率低的特点。可以提高单晶硅太阳能电池 的短路电流,从而提高太阳能电池的光转换效率。
化学反应方程式:Si+2NaOH+H2O=Nasio3+2H2↑
影响因素
1.温度
温度过高,首先就是 IPA 不好控制,温度一高,IPA 的挥发很快,气泡印就会随之出现, 这样就大大减少了 PN 结的有效面积,反应加剧,还会出现片子的漂浮,造成碎片率的增加。
可控程度:调节机器的设置,可以很好的调节温度。
2.时间
金字塔随时间的变化:金字塔逐渐冒出来;表面上基本被小金字塔覆盖,少数开始成长; 金字塔密布的绒面已经形成,只是大小不均匀,反射率也降到比较低的情况;金字塔向外 扩张兼并,体积逐渐膨胀,尺寸趋于均等,反射率略有下降。
可控程度:调节设备参数,可以精确的调节时间。
3.IPA
1.协助氢气的释放。2.减弱 NaOH 溶液对硅片的腐蚀力度,调节各向因子。纯 NaOH 溶液 在高温下对原子排列比较稀疏的 100 晶面和比较致密的 111 晶面破坏比较大,各个晶面被 腐蚀而消融,IPA 明显减弱 NaOH 的腐蚀强度,增加了腐蚀的各向异性,有利于金字塔的 成形。乙醇含量过高,碱溶液对硅溶液腐蚀能力变得很弱,各向异性因子又趋于 1。 可控程度:根据首次配液的含量,及每次大约消耗的量,来补充一定量的液体,控制精度 不高。
4.NaOH
形成金字塔绒面。NaOH 浓度越高,金字塔体积越小,反应初期,金字塔成核密度近似不 受 NaOH 浓度影响,碱溶液的腐蚀性随 NaOH 浓度变化比较显著,浓度高的 NaOH 溶液与 硅反映的速度加快,再反应一段时间后,金字塔体积更大。NaOH 浓度超过一定界限时, 各向异性因子变小,绒面会越来越差,类似于抛光。
可控程度:与 IPA 类似,控制精度不高。
5.Na2
SiO
3
SI 和 NaOH 反应生产的 Na
2
SiO
3
和加入的 Na
2
SiO
3
能起到缓冲剂的作用,使反应不至于很
剧烈,变的平缓。Na
2
SiO
3
使反应有了更多的起点,生长出的金字塔更均匀,更小一点
Na2
SiO
3
多的时候要及时的排掉,Na
2
SiO
3
导热性差,会影响反应,溶液的粘稠度也增加,容
易形成水纹、花蓝印和表面斑点。
可控程度:很难控制。
4#酸洗
HCL 去除硅片表面的金属杂质
盐酸具有酸和络合剂的双重作用,氯离子能与多种金属离子形成可溶与水的络合物。 6#酸洗
HF 去除硅片表面氧化层,SiO
2
+6HF=H
2
[siF
6
]+2H
2
O。
控制点
1.减薄量
定义:硅片制绒前后的前后重量差。
控制范围
单晶 125,硅片厚度在 200±25 微米以上,减薄量在 0.5±0.2g;硅片厚度在 200±25 微米 以上,减薄量在 0.4±0.2g。
单晶 156,首篮减薄量在 0.7±0.2g;以后减薄量在 0.6±0.2g。
2.绒面
判断标准:成核密度高,大小适当,均匀。
控制范围:单晶:金字塔尺寸 3~10um。
3.外观
无缺口,斑点,裂纹,切割线,划痕,凹坑,有无白斑,赃污。
异常处理
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