Q_SSJ 012-2019晶圆皮秒激光隐切设备.pdf

Q/SSJ 浙江圣石激光科技股份有限公司企业标准 Q/SSJ012-2019 晶圆皮秒激光隐切设备 2019-12-4发布 2019-12-4实施 浙江圣石激光科技股份有限公司 发 布 Q/SSJ 012—2019 前 言 本标准准是一个完整的企业产品标准，本标准按GB/T1.1规定编写。 本标准由浙江圣石激光科技股份有限公司提出并负责起草。 本标准主要起草人：邵西河 Q/SSJ012-2019 滤光片皮秒激光切割全自动设备 1 范围 本标准规定了滤光片皮秒激光切割全自动设备的技术要求，试验方法，检验规则，标 志，包装，运输和贮存 本标准适用于滤光片皮秒激光切割全自动设备。 2 规范性 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版 本适用于本文件。 凡是不注日期的引用文件，其最新版本 （包括所有的修改单）适用于本文件。 GB5226.1 机械安全 机械电气设备 第一部分：通用技术条件 GB/T 13306 标牌 GB/T 13384 机电产品包装通用技术条件 GB/T 191 包装储运图示标志 GB 5226 机床电器设备通用技术条件 GB 2893 安全色 GB 2894 安全标志 GB 4943 信息技术设备的安全 GB 7247.1 激光产品的安全，第一部分：设备分类，要求和用户指南 GB/T 12644 激光加工机械 安全要求 GB/T 13863 激光辐射功率和功率不稳定测试方法 GB/T 15175 固体激光器主要参数测试方法 GB/T 14253 轻工机械通用技术条件 3 产品组成 产品是由皮秒激光器，光路组件，上下料组件，加工组件等组成的，能够完成滤光片 的全自动激光切割 4 要求 4.1 基本要求 4.1.1 设备应符合本标准的规定，并按经规定程序批准的图样和技术文件制造。 4.1.2设备所用材料及外购件，入厂时需要经过质检部门复检，并应符合有关标准规定。 4.2主要技术参数 主要技术参数见表1 表1 序号 项目 单位 指标 1 激光器功率 W 10 2 上轴切割速度 mm/s 1000 3 下轴切割速度 mm/s 300 4 最大切割范围 mm 300*300 5 切割线宽 um 50 6 切割厚度 mm 1 7 切割崩边 um