半导体器件可靠性与测试和主要研究内容.pptVIP

绪论 半导体可靠性物理学 研究领域、研究任务 半导体可靠性物理学 产生过程及其重要性 半导体可靠性物理学 课程的重点 绪论 是什么？ 干什么？ 为什么学？ 学什么？ 绪论 半导体可靠性物理学 课程的重点 What failed? How did it failed? Why did it failed? 什么 失效?－判定范围 怎么 失效?－失效表征 为什么 失效?－退化机制 主要讲解的问题： 力求： 含盖当前生产工艺技术所存在的主要的可靠性问题－删除过时、陈旧的内容 强调重点，有针对性－加入最新的研究成果、结合实际的研究问题 突出研究思路和方法－不过多介绍已有的规范和检测程序 绪论 半导体可靠性物理学 课后讨论问题 1、谈谈你对半导体可靠性问题的认识？ 2、你认为半导体可靠性的研究都有哪些工作？ 3、结合你的兴趣和课题，谈谈你最感兴趣的可靠性问题有哪些？ 半导体器件可靠性与测试和主要研究内容 课程的目的 1. 了解半导体器件可靠性研究的发展过程 2. 熟悉引起半导体电路失效的主要模式 3. 熟悉引起器件退化的主要退化机制 4. 基本掌握器件退化的主要表征技术和检测方法 课程目的 课程的要求 1. 知道引起MOS电路失效的主要几种失效模式 主要的失效规律 2. 了解MOS器件失效的主要退化机制 掌握相关的分析和判定方法 3. 熟悉目前主要的MOS器件退化检测方法和表征技术 课程要求 课程的参考书 1. 半导体物理学，刘恩科、朱秉升、罗晋生编著， 西安交通大学出版社，1998 2. 半导体器件物理，SM.Z.，黄振岗译、魏策军校， 电子工业出版社，1987 3. 半导体器件可靠性物理，高光勃、李学信编著， 科学出版社，1987 3. 微电子器件可靠性，史保华、贾新章、张德胜， 西安电子科技大学出版社，1999 4. 硅－二氧化硅界面物理，郭维廉， 国防工业出版社，1988 课程参考书 半导体器件可靠性物理 绪论 MOS器件退化机制和模型 E2PROM退化机理和模型 静电放电(ESD)损伤 电极系统的退化、失效机理 电学退化的表征和测量技术 课程内容 绪 论 绪论 半导体可靠性物理学 研究领域、研究任务、研究内容 半导体可靠性物理学 产生过程及其重要性 半导体可靠性物理学 课程的重点 绪论 是什么？ 干什么？ 为什么学？ 学什么？ 绪论 半导体可靠性物理学 研究领域 是什么？ 六十年代后期崛起的一门新兴的边缘学科，目前尚处于不断发展和完善阶段。 半导体可靠性物理学 半导体物理学 半导体工艺学 材料学 化学 冶金学 电子学 环境工程学 系统工程学 绪论 干什么？ 半导体可靠性物理学 研究任务 简而言之，半导体可靠性物理学主要是从发生在半导体内部的各种物理效应的角度，从原子、分子运动的角度来研究如何提高半导体可靠性的一门学科。 失效规律、模式 失效机理 表征 技术 可靠性评估、可靠性设计和使用规范等 主要的研究内容 What failed? 绪论 研究领域和任务 什么 How did it failed? Why did it failed? 怎么 为什么 器件失效(氧化层击穿、器件特性退化)、电迁移等 某种条件下，电学特性的变化规律 判定退化机制及其对器件行为的影响 半导体可靠性物理学 与半导体物理学的区别 绪论 研究领域和任务 研究范畴 电应力(电压、电流、频率等) 界面态缺陷 氧化层缺陷 研究对象 半导体可靠性物理学 与半导体物理学的区别 绪论 研究领域和任务 研究范围 t=0 半导体物理学 半导体可靠性物理学 半导体物理学 半导体可靠性物理学 器件可靠性指产品的寿命特点、使用维修情况、完成任务的能力大小，是产品质量的重要指标之一。 半导体器件的可靠性 绪论 研究领域和任务 半导体可靠性物理学的主要分支 器件可靠性问题也是产品质量问题 制造过程 半导体加工 切割、封装 设计 晶片 芯片 使用过程… 产品 报废、失效 筛选过程 绪论 半导体器件可靠性问题 失效分析 进行器件的失效分析 半导体器件可靠性问题 主要研究内容 失效分析(failure analysis)系指产品失效后，通过对产品及其结构、使用和技术文件的系统研究，从而鉴别失效模式、确定失效原因、机理和失效演变的过程。这一门技术就是失效分析。 绪论 绪论 研究内容主要包括两个层次 半导体器件可靠性问题 主要研究内容 评价可靠性水平 如何提高可靠性 虽然器件可靠性研究首先是从评价可靠性水平开始的，但研究重点逐渐在转向如何提高可靠性方面。 可靠性数学、可靠性实验 可靠性评估 失效分析、失效物理 工艺监控、可靠性设计 绪论 失效分析的基本内容 常见的失效模式 即失效的形式 最常见的有烧毁、管壳