Q_320281NQY02.17-2020超净高纯试剂 碱性清洗剂.pdf

G63 Q 江阴江化微电子材料股份有限公司企业标准 Q/320281NQY02.17—2020 超净高纯试剂 碱性清洗剂 2020 - 01 - 02 发布 2020 - 01 - 15 实施 江阴江化微电子材料股份有限公司 发 布 Q/320281NQY02.17—2020 前 言 本标准编写格式按GB/T 1.1-2009的规定。 本标准由江阴江化微电子材料股份有限公司负责起草。 本标准由江阴江化微电子材料股份有限公司批准。 本标准主要起草人：殷福华、顾玲燕。 I Q/320281NQY02.17—2020 超净高纯试剂 碱性清洗剂 1 范围 本标准规定了超净高纯试剂 碱性清洗剂的分类、要求、试验方法、检验规则及包装、标志、运输、 贮存及安全等。 本标准适用于超净高纯试剂 碱性清洗剂。 用途：用于集成电路生产碱性清洗剂。 分子式：C H NO 5 15 2 分子量：121.2 （按2018年国际相对原子量）。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB 190 危险货物包装标志 GB/T 601 化学试剂 标准滴定溶液的制备 GB/T 602 化学试剂 杂质测定用标准溶液的制备 GB/T 603 化学试剂 试验方法中所用制剂及制品的制备 GB/T 6682 分析实验室用水规格和试验方法 GB/T 8170 数值修约规则与极限数值的表示和判定 GB/T 9729 化学试剂 氯化物测定通用方法 GB 15346 化学试剂 包装及标志 Q/320281NQY 03.01 液体颗粒计数仪颗粒测定通用方法 Q/320281NQY 03.02 ICP-MS 等离子质谱仪测定通用方法 3 分类 碱性清洗剂包括C-400清洗剂和C-400S清洗剂，