第5章薄膜生长过程和薄膜结构.ppt

第五章 薄膜的生长过程和薄膜结构 ;本章研究内容 ： 薄膜具体的生长过程； 薄膜的微观组织； 微观组织与生长条件的具体关系。 ;第一节 薄膜生长过程概述 第二节 新相的自发形核理论 第三节 新相的非自发形核理论 第四节 连续薄膜的形成 第五节 薄膜生长过程与薄膜结构 第六节 非晶薄膜 第七节 薄膜织构 第八节 薄膜的外延生长 第九节 薄膜中的应力和薄膜的附着力 ;第一节 薄膜生长过程概述;一.薄膜的生长过程 ;小岛通过相互合并而扩大（类似液珠一样）而空出的衬底表面又形成了新的岛。 像这样的小岛形成与合并的过程不断进行，直到孤立的小岛逐渐连接成片，最后只留下一些孤立的孔洞，并逐渐被后沉积的原子所填充。 ;凝 聚 ;二.薄膜生长阶段的三种模式 ;岛状生长（Volmer-Weber）模式 条件： 对多数薄膜和衬底来说，只要衬底的温度足够高，沉积的原子具有一定的扩散能力，薄膜的生长就表现为岛状生长模式。 即使不存在任何对形核有促进作用的有利位置，随着沉积原子的不断增加，衬底上也会聚集起许多薄膜的三维核心。 ;该生长模式表明： 被沉积物质原子或分子更倾向于自己相互键合起来，而避免与衬底原子键合，即被沉积物质与衬底之间的浸润性较差。 典型例子：在非金属衬底上沉积金属薄膜;二. 层状生长(Frank-van der Merwe)模式;特点：每一层原子都