直拉单晶硅中氧含量与热场结构关系初探 .docVIP

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2020-03-16 发布于湖北
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直拉单晶硅中氧含量与热场结构关系初探作者:王伟, 孙崇良, 杨晓忠, 李华作者单位:常州天合光能有限公司,中国 213031 本文读者也读过(10条 1.张晓洪.孙崇良.杨晓忠.李华直拉单晶炉的热场节能改造[会议论文]-2010 2.王伟.黄振飞.汪钉崇石英坩埚中碱金属含量对硅单晶拉制的影响[会议论文]-2008 3.李毕武.黄振飞.贺洁.张弛多晶铸锭质量的分布特点[会议论文]-2010 4.张志强.黄振飞.黄强单晶炉热场设计与优化[会议论文]-2010 5.申少华.胡波.秦先志.SHEN Shao-hua.HU Bo.QIN Xian-zhi直拉硅单晶炉热系统的改造对氧、碳含量的影响[期刊论文]-湖南科技大学学报(自然科学版2009,24(3 6.刘锋.韩焕鹏.李丹.王世援.吴磊.周传月.莫宇.Liu Feng.Han Huanpeng.Li Dan.Wang Shiyuan.Wu Lei.Zhou Chuanyue.Mo Yu密闭式热场下111晶向Si单晶高晶转生长研究[期刊论文]-半导体技术2011,36(2 7.郝秋艳.乔治.张建峰.任丙彦.李养贤.刘彩池快速退火对大直径CZSi单晶中原生微缺陷的影响[期刊论文]-人工晶体学报2004,33(5 8.杨家茂硅单晶生产用石英玻璃坩埚的生产情况与发展[会议论文]-2003 9.曾世铭.蒋建华.邵仲平.殷兰训.王煜辉.黄新大某些“免洗”原生多晶硅料需再酸洗之谜[会议论文]-2010 10.欧阳葆华.刘俊龙免清洗大直径内层透明电弧石英玻璃坩埚[会议论文]-2004 本文链接:/Conference_7359732.aspx