《集成电路晶圆制造能耗限额》编制说明-上海地方标准.docxVIP

上海市地方标准《集成电路晶圆制造能耗限额》 标准编制说明 一、工作简介 （一）任务来源 本标准任务由上海市质量技术监督局于2017年7月28日下达，根据沪质技监标〔2017〕332号文，上海市地方标准《集成电路晶圆制造能耗限额》列入2017年上海市第二批（节能减排类）地方标准制修订项目计划第34项。 （二）产业基本情况 集成电路产业作为国民经济和社会发展的战略性、基础性和先导性产业，是培育战略性新兴产业、发展信息经济的重要支持，关乎国家核心竞争力和国家安全，其在信息技术领域的核心地位十分重要。上海集成电路产业是国内集成电路产业集聚度最高，产业链最为完整，创新能力最强，综合技术水平最高的地区之一，为国内集成电路产业发展起到了引领和示范的作用。上海集成电路行业在全国率先开展集成电路制造、封装能耗限额标准的制定与实施，对稳定和提高本市集成电路制造、封装企业的运营质量，推动和引领全国集成电路制造业的节能降耗、控制成本，具有深远的意义。 地方标准《集成电路晶圆制造能耗限额》主要适用于我市集成电路芯片制造业。我市集成电路芯片制造业2017年的营收总额占全行业比重约为24%，这类企业也是集成电路行业中能耗最大的，主要包括中芯国际集成电路制造（上海）有限公司、上海华力微电子有限公司、上海华虹宏力半导体制造有限公司、台积电（中国）有限公司、上海先进半导体制造股份有限公司、上海新进半导体制造有限公司等。2010年制定该标准时，我市集成电路芯片制造企业主要以6英寸、8英寸生产线为主，而目前我市集成电路制造生产线中，12英寸正在运行的有2条、在建的有3条；8英寸正在运行的有8条、在建的有1条，6英寸正在运行的有3条。原标准已不适用目前的情况，依据实际情况分别设置12英寸、8英寸、6英寸晶圆生产线的单位产品能耗限额，是本次修订标准的主要工作。随着技术水平更高、工艺更复杂的芯片不断导入生产线，单位产品的能耗将会逐步增加，因此本标准将根据产业发展情况不断修订，不断完善。本次修改后的能耗标准，仍将覆盖我市集成电路晶圆制造业所有企业，这些企业2017年晶圆生产总能耗接近30万吨标准煤。 （三）预期的社会经济效果 通过调查、测算和不断优化，确定了我市集成电路晶圆制造行业的能耗限额，一是约束了行业内各晶圆制造企业能耗管理，通过不断的技术改造和管理优化将企业总体能耗水平控制在标准允许的范围内，特别是随着企业运行、设备逐步老化，鞭策企业始终将严格执行能耗标准作为节能降耗的动力之一。二是该标准作为企业新进入晶圆制造行业的能耗技术门槛，要求企业在建立时就把采用新技术、新工艺、新方法作为初创企业必须要考虑的因素之一，提高企业的低能耗技术定位，以整体提高我市集成电路产业的节能降耗水平。总之，集成电路晶圆制造能耗限额标准的制订，将推动我市集成电路晶圆制造行业的能耗管理在全国处于领先水平，实现较好的社会经济效果。 （四）起草单位 上海市集成电路行业协会、上海市能效中心、中芯国际集成电路制造（上海）有限公司、上海华力微电子有限公司、上海华虹宏力半导体制造有限公司、台积电（中国）有限公司、上海先进半导体制造股份有限公司、上海新进半导体制造有限公司等。 （五）主要工作过程 上海市集成电路行业协会接获市质技监督局下达的任务后，即着手成立《集成电路晶圆制造能耗限额》标准起草组，标准起草工作由上海市集成电路行业协会、上海市能效中心、中芯国际集成电路制造（上海）有限公司、上海华力微电子有限公司、上海华虹宏力半导体制造有限公司、台积电（中国）有限公司等单位代表参加。 2018年4月10日，标准起草组根据沪质技监标〔2017〕332号文的要求，制定了标准编制工作的各阶段工作计划并召开标准起草小组第一次工作会议，就工作目标、工作程序、时间节点进行布置，并将调研任务落实至参加单位。 2018年5月完成主要企业的数据统计和工作组讨论稿. 2018年6月上旬组织讨论完成征求意见稿并发给相关企业征求意见，并对征求意见稿进一步完善。 2018年6月下旬将完善后的征求意见稿发给各相关企业进行第二次征求意见，并于2018年7月3日召开标准起草小组第二次工作会议，就标准修订过程中数据统计、修改方案、征求意见、主要问题的解决等进行了汇报讨论，形成了标准最终的修改方案。 2018年12月上旬，通过分析、汇总反馈意见，在此基础上，完成《集成电路晶圆制造能耗限额》送审稿。 二、标准编制原则和确定标准主要内容的依据 （一）制定标准的原则 1、标准编写格式按照GB/T 1.1的要求，引用标准采用最新版本。 2、制定标准的目的是规范集成电路晶圆制造企业生产、指导企业节能减排工作，标准必须适应集成电路晶圆制造行业及企业的要求，满足行业、企业可持续发展的需要。 3、标准的内容尽可能从实际应用出发，适合实际操作。 （二）制定标准的主要