芯片制备中光刻技术.pptVIP

芯片制备中的光刻技术 ;集成电路的集成度和产品性能每18个月增加一倍。据专家预测,今后20年左右,集成电路技术及其产品仍将遵循这一规律发展。 以集成电路为核心的电子信息产业超过了以汽车、石油、钢铁为代表的传统工业成为第一大产业，成为改造和拉动传统产业迈向数字时代的强大引擎和雄厚基石。 经济发展的数据表明,每l?2元的集成电路产值,带动了10元左右电子工业产值的形成,进而带动了100元GDP的增长。 ;我国集成电路设计与制造水平;集成电路设计与制造的主要流程框架;—制造业—;集成电路芯片的显微照片;Vss;;集成电路制造工艺;图形转换：光刻;图形转换：光刻;图形转换：光刻;图形转换：光刻;正胶：曝光后可溶 负胶：曝光后不可溶;图形转换：光刻;间隙;图形转换：光刻;图形转换：刻蚀技术;图形转换：刻蚀技术;干法刻蚀;谢 谢！