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第6章 定量分析和深度剖析;6.1、定量分析方法;实用XPS定量方法;6.1.1、第一性原理模型;6.1.2、元素灵敏度因子法;归一化面积(NA)由谱峰面积(IA)来计算
NA = IA / Si
因而样品中任一元素的相对原子浓度由下式算出:;(2)、灵敏度因子;元素的相对灵敏度因子;由两不同的数据库计算的归一化面积为:
Scofield NA = Peak Area/SF(Scofield) x E0.6 x TF
Wagner NA = Peak Area/SF(Wagner) x E x TF
因而给出原子浓度:;6.1.3、定量精确度和误差来源;定量的不确定性来源;一材料的全谱扫描检测到只有碳和氧存在，高分辨C 1s和O 1s扫描表明分别存在4个和3个子峰。用下面提供的数据计算C/O原子比和每一组分在样品中存在的百分比。同时提出一个关于此样品的化学结构，并给出对应每个子峰的自恰指认。激发源使用Al K? X射线。结合能值已对样品荷电进行过校正。C 1s和O 1s的原子灵敏度因子分别为0.296和0.711。 ;定量分析例子;6.2 深度剖析方法;6.2.1、深度分布信息;角分辨XPS (ARXPS)
用于膜厚10nm的深度分析;6.2.2、角分辨XPS深度剖析(d ~ ?);6.2.2.1、角分辨XPS;6.2.2.2、膜厚度测量 - ARXPS;;6.2.3、离子溅射深度剖析（d?） ;6.2.3.1、离子束溅射深度分析;深度剖析实验由交替地分析跟着周期性刻蚀然后再分析构成。
可观测到浓度或化学态随深度的变化。;离子蚀刻深度剖析;6.2.3.2、离子刻蚀速率;离子刻蚀速率;;6.2.3.3、深度剖析的影响因素;6.2.4、在薄膜材料研究中的应用;在半导体微电子技术中的应用;深度剖析实例;【例】XPS depth profile of multilayer Ni/Cr/CrO/Ni/Cr/Si;【例】金属化系统Au/Cr/Si界面反应的研究;建筑玻璃镀层(Coating)的深度剖析;思考题
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