粒子同固体相互作用物理学-第1章.pptVIP

遇到的困难——金属离子产生困难 一般纯金属熔点较高，难于气化，用绝大多数离子源仅能得到少数几种金属离子，不能满足金属离子注入的要求。 MEVVA（Metal Vapor Vacuum Arc)离子源　 ８５年，加州理工大学伯克利实验室的布朗发明了ＭＥＶＶＡ源，解决了这个问题。 特点： １、几乎可以引出元素周期表上所有可以导电的元素的离子束，包括Ｃ、Ｓｉ等非金属，以及从导电化合物中引出混合离子束。 ２、引出的离子束中多电荷离子的比例大（见表格）。 　　 该离子源工作时不需要辅助气体，工作真空度达４ｘ１０－４Ｐａ以上。 基本工作原理：利用阴极和阳极间的真空弧放电。 熔融状的阴极斑。 阴极由所需离子的导电固体材料制成。 起弧电压（弧压）和触发电压 弧压不能直接形成真空弧放电，必须经过触发电极的触发，在阴极表面产生少量等离子体，当等离子体到达阳极，使主弧（阴极和阳极间）电路接通，这时才形成真空弧放电。 离子源---无穷的魅力， 戏剧性传奇色彩， 极具“魔力”的挑战性 离子源的设计、建造，特别是调试，还处于半理论和半经验状态，没有完整的理论可遵循 许多国外同行常说的那样，电子回旋共振离子源本身就像魔术一样，有时神秘莫测，变化无常，但在某些方面又显得相当简洁，富有规则而较易理解。虽然电子回旋共振离子源的发展已近30年，目前在国际上各领域有近二三百台这种离子源在运行，还有更多的正在建造之中，但它的许多基本原理和工作机制至今还不甚清楚。一台高电荷态电子回旋共振离子源的设计、建造，特别是调试，还处于半理论和半经验状态，没有完整的理论可遵循，常常是一系列新的实验现象和实验结果使理论研究者大出所料，目瞪口呆，难于置信，在这方面理论研究远远地落后于实验进展。在电子回旋共振离子源的研制中，无权威可言，只要你不断努力、尝试，总会有新的发现。新的进展使你惊喜万分，但又常常迷惑不解。在国际电子回旋共振离子源领域，没有人敢夸口他的离子源所创束流纪录可保持半年。新的思想、新的结果、新的技术乃至许许多多的小窍门总是层出不穷；相互竞争激烈，而相互交流勾通又是那么广泛。至今，几乎每一台电子回旋共振离子源都能一直正常工作，但是，一台好的离子源和另一台差的离子源相比，其性能和束流指标千差万别。 在微波离子源中，当你向离子源中掺入一种比工作气体较轻的气体时，你会发现工作物质的高电荷态离子产额可大幅度提高。这种现象叫掺气效应，这种效应是在一次偶然的试验中发现的。现在几乎所有的电子回旋共振离子源都在使用这种效应以提高高电荷态离子束流强，这种方法看起来是如此之简单，可效果非常明显。但在过去的15年里，有许多实验小组都试图从理沦和实验上给予解释，然而到目前为止，还没有一种完善的解释能自圆其说，令人信服。 在1995年之前，几乎所有的电子回旋共振离子源都只用一种频率的微波加热电子。有人曾提出试图把两种不同频率的微波同时馈入到离子源中，用以提高加热电子的效率，这种想法几乎遭到所有“权威”的否定，他们认为不可能．美国贝克利国家实验室的谢祖棋博士，大胆地从实验上做了尝试，出人意料地发现高电荷态离子产额大幅度提高了，但其详尽的物理解释还不甚明确，以至于两年后，有同行用实验重复证实了这个结果以后，国际电子回旋共振离子源先驱者之一的梯姆·昂塔亚(T．Antaya)博土在国际会议上感叹；“我真为双频加热担心，物理机制何在?但它又是确定无误的实验事实!” 80年代学术界曾流传的一句玩笑 电子束离子源(另外一种多电荷态离子源)的科学家们至少可以理解他们的电子束离子源为什么工作运行得如此糟糕，而可怜的微波离子源的科学家总是不明白他们的微波离子源为什么工作运行得如此之好! 这便是离子源魔力之所在。这种魔力驱使人们不断地去探索、思考，不断地提出新的思想、新的概念，去揭示其中的奥妙。 离子注入机的分类 离子注入机按能量大小可分为： 低能注入机（5～50keV） 能量大小 中能注入机（50～200keV） 高能注入机（0.3～5MeV） 按束流强度大小可分为： 低束流注入机（几μA左右） 束流大小 中束流注入机（几μA～几百μA） 高束流注入机（几mA～几十上百mA） 按束流工作状态可分为：