第4章 电容式传感器;测量电路;电容式传感器是将被测非电量的变化转换为电容量变化的一种传感器。结构简单、高分辨力、可非接触测量,并能在高温、辐射和强烈振动等恶劣条件下工作,这是它的独特优点。随着集成电路技术和计算机技术的发展,促使它扬长避短,成为一种很有发展前途的传感器。;第4章 电容式传感器;第4章 电容式传感器;当可动极板向下移动Δd 时,电容量变为
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电容的变化量为
??????????????????????????????????? ??????????;如果满足条件(Δd/d)1,则可按级数展开成
?????????????;第4章 电容式传感器;第4章 电容式传感器;动极板置于两定极板之间,初始位置时,d1=d2=d,两边初始电容相等。当动板向上移△ d 时,两边极距变化为:
; 灵敏度提高一倍,非线性误差减小。;第4章 电容式传感器 ;
① 增大介电常数、极板边长b或减小极板间距d,都可以提高传感器的灵敏度;
② 极板宽度a的大小不影响灵敏度,但不能太小,否则边缘电场影响增大,非线性将增大;
③ △X变化不能太大,否则边缘效应会使传感器特性产生非线性变化。
;为了提高灵敏度和克服极板的边缘效应,改善非线性。可采用如图所示的差动式变面积型
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