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多孔硅电容变化规律及相关探测器研究探索 Research of Porous silicon capacitance detector 目 录 TOC \o 1-3 \h \z \u 摘 要 I Abstract II 第一章 引 言 1 1.1 研究背景 1 1.2 选题的目的及意义 1 1.3 本文的组织结构 2 第二章 多孔硅的制备 3 2.1 多孔硅的分类 3 2.2 多孔硅的制成 3 2.3 多孔硅的性质 4 第三章 多孔硅的湿敏传感器原理 5 3.1 湿敏传感器研究现状 5 3.2 多孔硅湿度传感器的感湿机理 5 3.3 多孔硅湿度传感器的应用前景 6 第四章 实验内容及数据分析 8 4.1 多孔硅的制备 8 4.1.1 准备工作 9 4.1.2 实验 10 4.2 多孔硅湿敏特性测试 13 4.3 数据整合与分析 14 第五章 结论及展望 16 参考文献 17 致 谢 18 摘 要 打印电子学中，运用喷墨打印机直接打出逻辑电路，即一个智能化的结构。在电路中掺入不一样的半导体材料就可以实现各种不同的功能，本文就是在叉指电容中掺入多孔硅制成简易的湿敏电容，从而形成一种结构简单，成本低，可用于大规模生产的器件。