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Si 单晶太阳能电池生产实习报告 一、实践目的 学习 Si 太阳能电池片的制造工艺原理，初步了解和掌握太阳能电池的整个 生产制造流程的工艺技术。学习每个工艺的目的和作用，工艺原理、具体工艺参 数。熟悉半导体工艺设备半导体制造工艺技术以及工艺过程测试与分析方法，并 学以致用、理论联系实际，巩固和理解所学的理论知识。另外，培养在实际生产 过程中发现问题、分析问题、解决问题和独立工作的能力，增强综合实践能力， 建立劳动观念、实践观念和创新意识，树立实事求是、严肃认真的科学态度，提 高综合素质。 二、实践安排 实践课程时间：2013-7-14 至 7-21 日 7 月 14-15 日在图书馆上网查资料 7 月 16 日对单晶硅表面制绒和腐蚀工艺 7 月 17 日扩散制结 7 月 18 日去磷硅玻璃 7 月 19 日等离子刻蚀 7 月 20 日镀减反射膜 7 月 21 日丝网印刷，烘干，烧结，测试 实践课程地点：晶体楼一楼 实践课程教学内容：学习太阳能电池的整个生产流程的工艺制造技术 三、实践过程和具体内容 1 太阳能电池简介 随着化石能源的逐渐枯竭及伴随的环境恶化，人们迫切需求对环境友好的可 再生能源。太阳能是目前最具前景的新型能源：用之不竭，且太阳能的使用不会 破坏地球生态及环境；安全，无污染，利用成本低，且不受地理条件限制。太阳 能利用的形式多种多样，其中太阳能电池技术可将太阳能直接转换为电能，被认 为是最有效的利用太阳能的方式。太阳电池发电具有很多优点，如安全可靠，无 噪声，无污染等，这些优点是常规发电和其他发电方式所不及的。太阳能电池的 分类有很多种，按用途分有航天用电池和民用电池，按其结构可分为晶体电池 1 （单晶 Si、多晶 Si）、薄膜电池、化学太阳能电池、多元化合物薄膜太阳能电池 等。 目前市场上的太阳能电池主要是硅基太阳能电池，其中又以多晶硅太阳能电 池为主流。然而，能够提供太阳能电池用的高纯硅厂家主要在国外，包括美国、 日本和德国，且近年来多晶硅原料已经明显出现市场缺口，由此带来了其价格的 迅速攀升。多晶硅的市场价格由2005 年的贸美元/kg 猛涨到2007 年的400 美元/kg ， 2008 年略有回降。而目前太阳能电池的发电成本为 5-6 元/l kw ·h ，约为煤电成 本的 10 倍以上。况且项目投资高，能耗高，一般建 1000t 的工厂需要 18 个月的 工期，投资达 10 亿元以上。另外，中国的产品市场主要在国外。 2 太阳能电池的工作原 当用适当波长的光照射非 均匀半导体 （pn 结）时，由于内 建场的作用（不加外电场），半导 体内部产生电动势（光生电压）； 如将 pn 结短路，则会出现电流 （光生电流）。这种由内建电场 引起的光电效应，称为光生伏 特效应。太阳电池是将光能转 化为电能的半导体光伏元件， 利用的就是半导体的光生伏特 图2 。1 太阳电池工作原理图 效应。 由于pn 结势垒区内存在较强的内建电场 （自n 区指向p 区），结两边的光生 少数载流子受该场的作用，各自向相反的方向运动：p 区的电子穿过pn 结进入 n 区；n 区的空穴进去p 区，使 p 端电势升高，n 端电势降低，于是 pn 结两端形成 了光生电动势，这就是 pn 结的光生伏特效应。由于光照产生的载流子各自向相 反的方向运动，从而在 pn 结内部形成自 n 区向p 区的光生电流IL 。由于光照在pn 结两端产生光生电动势，相当于在 pn 结两端加正电压 V ，使势垒降低为 qV -qV，产生正向电流 I 。在 pn 结开路的情况下，光生电流和正向电流相等时， D F pn 结两端建立起稳定的电势差 Voc （p 区相对于n 区是正的），这就是光电池的 开路电压。如将 pn 结与外电路接通，只要光照不停止，就会有源源不断的电流 流过电路，pn 结起了电源的作用。这就是光电池的基本原理。描述光电池的特 2 征参数有 4 个，包括短路电流、开路电压、填充因子和转换效率。 (a)