（可修改）薄膜制备与表面分析06.pptVIP

RBS ??基本原理 能量损失：粒子在固体中的能量损失定义为粒子在单位行程中能量的减少，即 由此有 若dE/dx, E已知，则x可算出，x是粒子的入射深度。 RBS ??基本原理 描述能量损失的一个更为常用量是阻止本领，定义为 因此，若阻止本领已知，通过对RBS中的能量分析，就可以把能量刻度转换为深度刻度。 材料的阻止本领分为核阻止本领和电子阻止本领。 RBS ??基本原理 在RBS分析中，由于所使用的入射离子一般具有很高的能量（MeV）,所以核阻止本领所占的离子能量损失很小，一般只考虑电子阻止本领的贡献。 对于化合物AmBn或相当于AmBn的混合物，其阻止本领满足Bragg法则，即 RBS ??基本原理 一定能量的粒子在介质中运动时，要经受许多次个别的原子碰撞过程而损失能量。这样一个过程服从统计规律。 多次原子碰撞的结果是具有同一初始能量的粒子，在穿过?x厚度后，将不在具有完全相同的能量，使RBS测量中分辨能力和分辨厚度的能力受到限制，分析质量的能力也将受到影响。在RBS分析中。 粒子能量的分离一般满足高斯分布。 RBS ??RBS的一般特征 表面有Cu, Ag和Au的Si靶所得到的4He背散射谱 RBS ?? RBS的一般特征 As注入Si后退火的RBS RBS ?? RBS的一般特征 不同厚度Ta薄膜的4He R