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电子气体行业研究报告
2020年
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目录
1 电子气体行业概述
2 电子气体产业链分析
目录 3 电子气体市场分析
4 电子气体企业分析
5 电子气体未来发展趋势
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电子气体行业概述
电子气体简介
电子气体是指用于半导体及相关电子产品生产的特种气体 ，应用范围十分广泛 ，主要应用在集
成电路、显示、半导体照明、太阳能电池等领域。
在半导体工业中应用的有110余种特种气体 ，其中常用的有超过30种。
太阳能电池
显示
主要工艺：晶体硅电池片、薄膜太阳能
主要工序：成膜、刻蚀
电池片
集成电路
半导体照明
主要工序：硅片制造、氧化、CVD、刻
主要工序：外延片制造、芯片制造
蚀、离子注入
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电子气体行业概述
电子气体应用
领域 工序 所需气体 用途
HCl 氧化
硅片制造 H2 还原
氩气 维持惰性隔绝环境，避免气体杂质留存
控制离子侵入氧化层，去除不必要的金属杂质，清洗用
氧化 Cl 、HCl、三氯乙烷(TCA)或二氯乙烯(DCE)
2 途
SiH 、SiHCl 、SiHCl 、SiCl 、TEOS、NH 、N O、
集成电路 CVD 4 2 4 4 3 2 形成CVD膜
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