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- 2020-05-16 发布于广东
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Agilent 6410B 质谱分子涡轮泵维修
及离子光学组件清洗
仪器:Agilent 6410B 三极杆串联质谱,2008.11 投入使用
故障发生的时间是 2013.04 ,到现在才来写这篇文章的原因:一个没
时间整理,另一个是找的非 Agilent 公司维修,担心没过多久涡轮泵再次
故障,但实践告诉我们,经过一年多运转(几乎没关过机),仪器运行正常,
这个方法值得向大家推荐,尤其是对经费不宽裕的实验室可以节约大量的
维修经费。
故障:分子涡轮泵出现异响仪器自动停机 ,经检测是分子涡轮泵坏了
(如果分子泵出现异响最好不要再开机,以免加重对泵的损伤)。可能原因
是 :只有一个液氮罐供应氮气,学生换气时经常要开、关机,频繁开关机
对分子涡轮泵损伤较大。也可能运气不好,泵的质量不太好,但据Agilent
工程师所说正常泵的寿命也就 3-5 年,一般用个 5 年也不错了。我们实际
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也用了差不多5 年了。
泵坏了只能找Agilent 公司,一问报价傻了,退回旧件还要12.5 万元,
旧泵能值个4 万多,主要的问题是,送来的泵也是返修泵,因为该型号涡
轮泵是Agilent 公司找 Pfeiffer 公司定制的产品,早已停产了。新的液质据
说已改用爱德华的分子涡轮泵了。十来万对没维修合同、也没专项维修经
费的单位来说是相当大的开销 ,看看还有其它办法。
在网上查到中山某公司正好维修过同型号的分子涡轮泵而且这家公司
离我们单位比较近,就与该公司取得了联系,报价在 2 万元上下 ,请示领
导后就同意与该公司合作,公司徐经理第二天就上门来将泵带走,并写了
收条答应一周内给予答复。说实在对国内公司真有点不太放心,对这高科
技的东西能不能修好心里真没底。
打开液质顶部与前部盖板就是这个样子
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第1 步:拆下分子涡轮泵电源及信号控制器
泵电源及信号控制器
第 2 步:最好等待质谱腔内气压恢复至常压后拆下真空系统与质谱腔
体之间的连接管路。注意 :如果质谱刚关机内部有负压,一定要先从机械
泵与质谱联接的波纹管拆开 ,将气压恢复至常压后才能拆下连接部件,否
则有可能将连接部件的O 型圈吸入质谱腔体或分子泵 ,我们在拆卸时出现
过这个问题。
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第 3 步:拆卸分子涡轮泵。仪器通过金属杆与6 个螺丝将分子泵与质
谱腔组合在一起,只需将 6 个螺丝逐个拧松,就可将泵放下来。拆卸的内
六角工具在质谱随机工具包中。
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蓝色工具为:内六角扳手
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分子涡轮泵与质谱腔接触面,黑色部分是密封圈
涡轮泵前侧面,这幅图是维修后拍的,厂方已将上部接口用红色胶带与有机塑料板密封,防止
进灰。涡轮泵控制模块里面大有玄机后面将讲到。
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