现代材料检测8章.pptxVIP

History of SEM;Features of SEM;1.扫描电子显微镜的构造;2．扫描电子显微镜的工作原理;2．扫描电子显微镜的工作原理 扫描电镜是用聚焦电子束在试样表面逐点扫描成像。试样为块状或粉末颗粒 由电子枪发射的能量为5～35keV的电子，以其交叉斑作为电子源，经二级聚光镜及物镜的缩小形成具有一定能量、一定束流强度和束斑直径的微细电子束，在扫描线圈驱动下，于试样表面按一定时间、空间顺序作栅网式扫描。聚焦电子束与试样相互作用，产生随试样表面形貌而变化物理信号（二次电子、背散射电子或吸收电子等，二次电子是最主要的成像信号），这些电子信号被探测器收集转换成电讯号，经视频放大后输入到显像管栅极，调制与入射电子束同步扫描的显像管亮度，得到反映试样表面形貌的特征电子图像。 ;扫描电镜的主要结构 电子光学系统 获得扫描电子束，作为信号的激发源。为了获得较高的信号强度和图像分辨率，扫描电子束应具有较高的亮度和尽可能小的束斑直径 电子枪1.热发射电子枪：W丝阴极：20-50um；LaB6阴极：20um 2.场发射电子枪：冷场致发射和热场致发射：10-20nm 聚光镜（第一、 第二聚光镜和物镜） 物镜光阑 ;信号探测放大系统 检测样品在入射电子作用 下产生的二次电子、背散 射电子等电子信号，然后 经视频放大作为显像系统 的调制信号，