第七章 薄膜的形成与生长 形核.pptVIP

薄膜的形成过程 ：指形成稳定核之后的过程。 薄膜成长模式 ：指薄膜形成的宏观形式。 本节以岛状生长模式为主进行讨论 第七章 薄膜的形成 ) exp( 0 kT E d a ? ? ? E D E d ) exp( 0 kT E D D ? ? ? 0 ? 0 ? 0 ? 2 1 ) ( a D x ? ? ? D a D ? 2 0 ? ) 2 exp( 0 kT E E a x D d ? ? ) exp( 0 1 kT E J J n d a ? ? ? ? ? ? ? ) exp( 1 1 0 kT E f D D D ? ? ? ? ? ) exp( kT E E f N D d a D ? ? ? ? ? 0 ? 0 ? 0 n N S D ? ) ex p( 0 1 0 1 0 1 1 kT E E n n n n f n N n S n S D d a D D E ? ? ? ? ? ? ? dt dn J s 1 ? ? s i i T T T T ? ? ? ? ＝ 吸附原子在表面停留期间 : ◆ 若和基片能量交换充分到达热平衡（ ）， 表示完全适应。 ◆ 如果 时， ，表示不完全适应， 有可能再蒸发。 ◆ 若 则入射气相原子与基体完全没有热交换，气 相原子全反射回来， ， 表示完全不适应。 s T T ? ? 1 ? ? s i T T T ? ? ?