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超精密定位中的几项相关关键技术 哈尔滨工业大学精加工研究室 王 波 董 申 赵万生 [摘要]通过结合自已的实际工作,分别从伺服进给机构,位置检测技术,数控及伺服控制等几个方面对超精密机床的定位系统进行了说明。 关键词:超精密加工 定位 伺服控制 激光干涉仪 [Abstract]T his paper states the position system o f the super-precision machine from the follow ing aspects:such as ser vo feeding mechanism,position detecting technology ,numerical control and servo control,etc.Keywords:super-precision machining positioning servo co ntrol laser interferometer 1 概述 超精密加工技术是一个国家综合实力的象征,并在微电子工业、光学仪器制造及航空航天等领域得到了广泛应用。超精密加工最终表现为机床的移动部件间的相对位置运动,因此,超精密定位是超精密加工的前提。定位系统的动态性能和稳态精度将直接影响到超精密加工的尺寸精度和表面粗糙度。 超精密加工一词最早于本世纪60年代初出现于美国,从那时起,随着加工精度的不断