04压电式传感器讲义资料.ppt

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2020-06-06 发布于天津
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04压电式传感器讲义资料.ppt

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压电式传感器另一种专用的前置放大器。能将高内阻的电荷源转换为低内阻的电压源，而且输出电压正比于输入电荷，因此，电荷放大器同样也起着阻抗变换的作用，其输入阻抗高达1010~1012Ω，输出阻抗小于100Ω。使用电荷放大器突出的一个优点：在一定条件下，传感器的灵敏度与电缆长度无关。上一页下一页返回 4.3 压电传感器的应用上一页下一页返回 4.3.1 压电式力传感器 4.3.2 压电式压力传感器 4.3.3 压电式加速度传感器 4.3.4 压电传感器的应用实例测试原理上一页下一页返回压电传感器的物理基础是压电效应，压电敏感元件感受力的作用而产生电压或电荷输出，即根据输出电压或电荷的大小和极性，就可确定作用力的大小和方向。由此可见，压电传感器可以直接用于测力，或测与力相关的压力、位移、振动加速度等。上一页下一页返回上一页下一页返回上一页下一页返回上一页下一页返回上一页下一页返回 4.3.1 压电式力传感器压电式测力传感器是利用压电元件直接实现力— 电转换的传感器。变形方式：利用纵向压电效应的TE方式（厚度变形）最简便。材料选择：决定于所测力的量值大小，对测量误差提出的要求、工作环境温度等各种因素。晶片数目：在拉、压场合,通常采用双片或多片石英晶体作压电元件，可以使传感器的电荷输出灵敏度增大一倍。上一页下一页返回单向压电式测力传感器压电式单向测力传感器上一页下一页返回压电元件为两片纵向压电效应的石英晶体切片，实现力与电的转换; 上盖为传力元件，受力后产生弹性变形，将作用力传递到压电元件上聚四氟乙烯绝缘套用来绝缘和定位，基座作为支承及外壳，其内外表面与晶片、电极、上盖内表面的平行度和表面光洁度都有极严格的要求。优点：体积小、质量轻(约10g)，固有频率高(约50一60kH z)，最大可测动态力105N，最小分辨率可达1g以下。第4章压电式传感器 4.1 压电传感器工作原理 4.2 压电传感器测量电路 4.3 压电传感器的应用下一页返回压电式传感器是一种典型的有源传感器; 压电效应具有可逆性，也是一种典型的”双向传感器”。它以某些电介质的压电效应为基础，在外力作用下，电介质表面产生电荷，从而实现外力与电荷量间的转换，达到非电量的电如目的。特点: 工作频带宽，灵敏度高，结构简单，体积小，重量轻，工作可靠。应用范围：各种动态力、机械冲击、振动测量、生物医学、超声、通信、宇航等领域。上一页下一页返回 4.1 压电式传感器的工作原理某些电介质在沿一定方向上受到外力的作用而变形时，其内部会产生极化现象，同时在它的两个相对表面上出现正负相反的电荷。当外力去掉后，它又会恢复到不带电的状态，这种现象称为正压电效应。当作用力的方向改变时，电荷的极性也随之改变。相反，当在电介质的极化方向上施加电场，这些电介质也会发生变形，电场去掉后，电介质的变形随之消失，这种现象称为逆压电效应，或称为电致伸缩现象。上一页下一页返回什么是压电效应常见的压电材料有石英、钛酸钡、锆钛酸铅等。晶体切片当沿电轴方向加作用力Fx时，则在与电轴垂直的平面上产生电荷 dxx——压电系数（C/N）作用力是沿着机械轴方向电荷仍在与X轴垂直的平面上一页下一页返回此时，石英晶体晶格的对称性晶体受到x方向的压力Fx作用，晶片将产生厚度变形，并发生极化现象。在晶体的线性弹性范围内，在x方向所产生的电荷qx与作用力Fx成正比，即 qx=dxx Fx dxx-压电系数，脚标中第一个x表示电荷平面的法线方向，第二个x表示作用力的方向。当受力方向和变形不同时，压电系数也不同，石英晶体的dxx=2.31×10-12C/N qx--垂直于X轴平面上的电荷 Fx-沿X轴方向施加的作用力。电荷qx的符号表示受压力还是受拉力；切片上产生的电荷多少与切片的尺寸无关，即qx与Fx成正比上一页下一页返回若在同一切片上,沿机械轴y方向施加作用力Fy,则仍在与x轴垂直的平面上产生电荷qy,其大小为 qy=dxy(L/h)Fy qy---垂直于x轴平面上的电荷 Fy---沿y轴方向施加的作用力 L、h-晶体切片的长度、厚度