sem在材料分析中的应用.pdfVIP

SEM 在材料分析中的应用 扫描电子显微镜 (简称扫描电镜 ,英文缩写为 SEM)是一种大型的分析仪器 ,广 泛应用在材料科学、生命科学、物理学、化学等学科领域。近年来在扫描电镜上 相继安装了许多专用附件 ,如:能谱仪 (EDX) 、波谱仪 (WDX) 、电子衍射仪 (ED) 等, 使扫描电镜成为一种多功能的、快速、直观、综合的表面分析仪器 [1] 。 1 扫描电镜的工作原理 扫描电镜主要由电子枪、电磁透镜、物镜、扫描线圈、信号收集及显示装置 等组成。其工作原理为 : 由电子枪发射电子 ,以交叉斑作为电子源 ,经二级透镜及物 镜的缩小形成具有一定能量、一定束流强度和束斑直径的微细电子束 ,在扫描线 圈驱动下 ,于试样表面按一定时间、空间顺序作栅网式扫描。试样在电子束作用 下 ,激发出各种信号 ,信号强度取决于试样表面状况。这些信号被探测器收集并经 视频放大后输入显像管栅极 ,调制与入射电子束同步扫描的显像管亮度