硅材料与硅片教学材料.pptVIP

硅材料与硅片的生产;Solarfun;;一 多晶硅的合成;(一) 改良西门子法的几项关键技术;(一) 改良西门子法的几项关键技术;(一) 改良西门子法的几项关键技术;(一) 改良西门子法的几项关键技术;（二）改良西门子法生产工艺流程;;1 合成HCl ;2 合成SiHCl3（三氯氢硅） ;3 三氯氢硅的提纯;4 三氯氢硅的还原;5 尾气回收系统;6 分析;二 多晶硅锭的生长过程;（一） 浇铸法; （二） 热交换法及布里曼法;;;（三） 电磁铸锭法; 三 单晶硅的生产过程;（一） 提拉法;;;; 提拉法生长单晶硅的工艺流程; 提拉法生长单晶硅的工艺流程; 提拉法生长单晶硅的工艺流程; （二） 区熔法生长单晶流程; ;;; 四 硅片加工; 硅片加工; 硅片加工; 硅片加工; 硅片加工; 硅片加工;五 小结;;;;;;;;;;;;;;;;;