Q_FJDR.006-2019电子工业用气体 三氟甲烷.pdf

Q/FJDR 006 · -2019 密级：秘密 版本号：1 QB 福建德尔科技有限公司企业标准 Q/FJDR ·006-2019 电子工业用气体 三氟甲烷 2019-12-25发布 2019-12-25实施 福建德尔科技有限公司 发布 Q/FJDR 006 · -2019 前 言 本标准是本公司对国标GB/T34085-2017《电子工业用气体 三氟甲烷》的贯彻落实，根据公 司生产工艺控制能力以及顾客要求，特编制的企业产品内控标准，用以规范和指导公司电子级三氟 甲烷生产。 本标准有效期三年，到期复审。本标准有效期内，如发布国家标准或行业标准，本标准需重 新修订，并符合国家标准或行业标准。 本标准由福建德尔科技有限公司提出。 本标准归口单位：福建德尔科技有限公司质保部； 本标准主要起草人：李纪明、林百志、曾熙、刘志强、傅钟盛、程岚、唐吉辉、赖金香。 1 Q/FJDR 006 · -2019 电子工业用气体 三氟甲烷 1 范围 本标准规定了电子级三氟甲烷产品的技术指标、试验方法、检验规则、标志、标签使用说明 书以及包装、运输、贮存。 本标准适用于公司内部对电子级三氟甲烷产品质量的控制与检验，该产品主要用作电子工业 等离子蚀工艺中作为刻蚀气体。 2 规范性引用文件 下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其随后 所有的修改单（不包括勘误的内容）或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议 的各方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本标准。 GB 190 危险货物包装标志 GB 5099 钢质无缝气瓶 GB11640 铝合金无缝气瓶 GB 5100 钢质焊接气瓶 DOT3,3A,3AA,3AX,3AAX,3B,3E,3T 钢质无缝气瓶 GB 16804气瓶警示标签 GB/T3723 工业用化学产品采样安全通则 GB/T6681 气体化工产品采样通则 GB/T 5832.1 气体分析 微量水分的测定 第1部分：电解法 GB/T 5832.3气体中微量水分的测定 第3部分：光腔衰荡光谱法 GB/T 28726 气体分析 氦离子化气相色谱法 GB/T7144 气瓶颜色标记 GB/T30485 电子工业用气体 三氟甲烷 GB/T8170 数值修约规则与极限数值的表示和判定 《气瓶安全监察规定》 《气瓶安全技术监察规程》 《危险化学品安全管理条例》 GB14193 液化气体气瓶充装规定 2