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第四节 模具表面的气相沉积技术 气相沉积技术 是将含有沉积元素的气相物质 输送到工件表面，在工件表面形成功能性或装饰性的 金属、非金属或化合物涂层的工艺方法。 气相沉积在工件表面覆盖一层厚度为 0.5-10um 的 过渡族元素（ Ti,V,Cr,W,Nb 等 ) 的碳、氧、氮、硼化 合物或单一的金属及非金属涂层。 按沉积的主要属性可分为化学气相沉积（ CVD ） 和物理气相沉积（ PVD ），等离子体被引入化学气体 沉积技术后，便形成等离子化学气相沉积（ PCVD ）。 气相沉积的特点 1 、工件表面具有较高的硬度（如 TiC 的硬 度为 3200-4100HV ， TiN 的硬度为 2450HV ）， 低的摩擦系数和自润滑性； 2 、高的熔点（ TiC 的熔点为3160℃， TiN 的熔点为2950℃ ），高的化学稳定性及抗粘 结能力； 3 、高的耐腐蚀能力和抗高温氧化能力。 一、化学气相沉积 ? 化学气相沉积是利用气态物质在一定温度在工件表面 上进行化学反应，生成固态物质沉积在加热的固态基体表 面，形成固体沉积膜的的工艺技术。 ? 化学气相沉积通常称为 CVD （ Chemical vapor depos