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第 10 章 真空科学和等离子体; 10.1 气体动力学理论; 气体分子在两次碰撞之间的平均距离，即 平均自由程; 10.2 气体流动及传导率; 10.3 压力范围和真空泵; 集成电路制造中使用的初真空泵一般采用旋转叶片泵，也称为机械泵。单级旋转叶片泵能达到的真空度约为 20 mTorr ，而两级旋转叶片泵的真空度则能达到 1 mTorr 。;; 集成电路制造中使用的高真空泵可分为两大类：一类是转移动量给气体分子而抽吸气体，如扩散泵和涡轮分子泵，主要用于抽吸腐蚀性气体和有毒气体，或抽吸大流量气体。另一类是俘获气体分子，如吸附泵、钛升华泵和溅射离子泵，主要用于抽吸小流量气体，或在需要极高洁净度的场合。; 10.4 真空密封和压力测量;; 等离子体是部分电离的气体。等离子体中的气体分子受到电子碰撞后会发生激发和离化，等离子体中除了含有带电的自由电子和离子外，还含有大量处于激发态的、不稳定的、化学性质十分活泼的中性分子或原子，称为 游离基（或 自由基）。当原子被中等能量的电子碰撞后，其内层电子将被激发到高能状态而成为游离基。游离基的寿命极短，当电子返回基态时，将发射出可见光，这就是 辉光放电。 ; 典型条件：气压 1 Torr，电极间距 10 cm 时电压约 800V，电极间距 5 cm 时电压约 500