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- 2020-06-15 发布于浙江
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微电子学专业实验介绍 ;《微电子学专业实验》是按照我院新办专业“微电子学专业”的培养方案及教学计划要求,设置的一门重要专业实验课程。该课程是微电子学专业本科学生必修的一门专业实验课,是理论性和实践性都非常强的一门课程。微电子学实验涉及了集成电路设计、半导体物理、半导体器件、工艺及材料等多个专业方面。
;实验要求和目的:; ;实验教学内容;半导体材料特性与微电子技术工艺参数测分析:
四探针法测量半导体电阻率
半导体霍尔效应实验
光电导衰退法测量单晶硅非平衡少数载流子寿命
用椭圆偏振仪测量薄膜厚度
P-N结的显示与结深的测量
MOS结构高频C-V特性测试(演示)
;实验内容(2) ;集成电路性能参数测试与应用及现代集成电路EDA
技术实验:
双极性运算放大器参数的测试
版图电路分析
几种数字门电路的计算机模拟与仿真
运算放大器应用电路模拟与仿真
数字电路版图设计
模拟集成电路设计与仿真
稳压电源及应用电路的计算机模拟与仿真 ;实验安排;实验报告撰写要求 ;实验一 四探针法测电阻率 ;
;实验内容
1、用长条法测试矩形样品(n-si)的ρ和RH值。测电阻率时(磁场强度B=0)样品电流分别取代0.4mA、0.8mA两个值,测霍尔电压时,磁场强度B=2000GS。
2、用范德堡法测Si薄片半导体样品的ρ和RH值。测试条件同上。
3、用EXCEL进行数据处
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