第5章真空合成 精选文档.pptVIP

麦式真空规 ( 低、高真空） ? 利用玻意耳定律： PV 1 =(P+h)V 2 V 2 =0.25 Π d 2 h 其中： V 1 、 d 已知， hV 2 可测量得到， 最后计算出 P 。 ? 注： ? 1 ）测试范围： 10 ～ 10 -4 Pa ； ? 2 ）不能测量压缩发生凝结的气体； ? 3 ）不能测量蒸汽，蒸汽不服从玻意耳定律； ? 4 ）不能连续读压强值。 热偶真空规 ( 低真空） ? 原理：利用低气压下气体的热传导与压强有关的特 性间接测量的。 ? 一定的低气压下，气体 压强 与 导热系数 成正比，测 量 热电势 的大小即可反推气体的压强的大小。 ? 测量范围： 10 2 ～ 10 -2 Pa c d 加 热丝 A b 热电 偶 丝 功率、散 热 温 度 电动势 导热 率 真 空度 电离真空规 （高真空度） ? 测试原理：（发射极）阴极发射电子与气体 分子碰撞，使其电离，正离子被带负电位 （收集极）吸收形成离子流，而形成的离子 流与电离规管中气体分子的浓度成正比，因 此测量电流大小即可知道气体压强。 ? 注： 1 ）测量范围： 10 -1 ～ 10 -5 Pa ； 2 ）系统压强必须小于 10 -1 Pa 时才能适用电离 规，否则会被烧毁； 3 ）压强的刻度是按干燥空气为标准的，如果 测其它气体，需要修正。 冷阴极磁控规 ( 超 , 极高真空 ) ? 原理 : 利用气体在强磁场和高电场下在冷阴极放电的电离作用 , 使 冷阴极电离规管具有极高的灵敏度 , 避免了一般热电离式超高真 空规管因软 X 射线的影响而限制对高真空的测量。 ? 测量范围 : ： 10 -3 ～ 10 -12 Pa 第三节 真空检漏 ? 漏气是真空的大敌，要想获得并维持真空，必须掌握 真空检漏技术。 ? 检漏：就是找出真空系统上的漏点和漏气的原因并加 以堵塞，消除漏气现象，以保证获得预期的真空度。 孤立系统的压强变化 P 时间 A P 0 C D B 真空检漏的确定 将组装好的真空系统抽至 一定压强后，关闭阀门，使 其与真空泵断开。然后测量 系统压强的变化，将所测压 强对时间作曲线，可能出现 四种情况，如图所示。 第四章 真 空合成 基本概念 ? “真空”这一术语译自拉丁文 Vacuo ，其意义是虚无。 其实真空应理解为气体较稀薄的空间。 ? 真空的概念： ? 物理学上是指没有或者不计气体分子和原子存在的物理 空间，仅存在各种能量粒子的场空间。 ? 真空：是指在指定的空间内，低于一个大气压力的稀薄 气体的空间状态。 真空度的划分： ? 真空状态下气体稀薄程度称为真空度，通常用压力值表示。 ? 1 标准大气压 (1 atm)≈1.013 × 105Pa( 帕 ) ? 1 Torr≈1/760atm≈1mmHg ? 1Torr≈133Pa 粗真空 1.013 × 10 5 ～ 1.33 × 10 3 Pa 低真空 1.33 × 10 3 ～ 1.33 × 10 -1 Pa 高真空 1.33 × 10 -1 ～ 1.33 × 10 -6 Pa 超高真空 1.33 × 10 -6 ～ 1.33 × 10 -12 Pa 极高真空 低于 1.33 × 10 -12 Pa 真空的特点 : ? 高真空气体的行为与常压下有区别： ? （ 1 ） 在真空中，气体分子密度低，在某些情况下，真空可以近似地看作 没有气体“污染”的空间。 ? （ 2 ）真空中，气体分子或带电粒子的平均自由程为： ? （ 3 ） 真空中分子之间碰撞频率很低， 有些情况下分子间的碰撞可以忽略。 同时，分子与固体表面碰撞的频率也极低。 p kT 2 2 ?? ? ? p MT 22 10 5 . 3 ? ? ? ? 因此，通过真空可以得到： 1) “原子清洁”的固体表面——表面结构、表面组分及表面 能态等基本研究。 2) 纯净的制备环境——超纯样品、精确掺杂、镀膜技术。 3 ）模拟空间环境 真空技术： ? 真空技术已经成为一门独立的学科。 ? 它的基本内容包括： ? 1 ）真空物理 ? 2 ）真空的获得 ? 3 ）真空的测量和检漏 ?