2018郑州轻工业学院薄膜试卷B.pdfVIP

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2020-06-25 发布于天津
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实用标准文案 (C) 还原沉积 (D) 氧化沉积《薄膜技术与薄膜材料》课程期末试卷（B ） 6. 下面哪种选项不属于电阻加热蒸发法的缺点 :( ) (A) 支撑坩埚及材料与蒸发物反应题号一二三四总分 (B) 蒸发率高得分 (C) 加热时合金或化合物会分解卷试 (D) 难以获得足够高的温度，可蒸发材料受到限制 B 术选择 1 2 3 4 5 6 7 8 9 1 得分评卷人 7. 外延沉积技术对衬底的要求不合理的是：（）技线膜题号 0 (A) 在沉积温度下容易发生热分解薄号 (B) 不受外延材料及蒸气的侵蚀与学答案 (C) 和外延材料有相近的热膨胀系数料材 (D) 晶格类型和晶格常数与外延材料匹配一．选择题（每题 2 分，共 20 分）（请把答案填在上方题卡中）膜薄 1. 下面哪种真空泵不属于气体输运泵：（） 8. 直流辉光放电伏安特性曲线中，溅射所选择的工作区域是：（）期学名 (A) 旋片式机械泵 (B) 复合分子泵 (A) 汤森放电区 (B) 正常辉光放电区姓 (C) 罗茨泵 (D) 吸附泵 (C) 异常辉光放电区 (D) 弧光放电区第订 2. 普通三极型电离真空计的工作范围是： ( ) 9. 各种溅射的基础条件是气氛和（）年学 2 -1 5 -2 (A) 10 ~10 Pa (B) 10 ~10 Pa (A) 高压 (B) 真空度 (C) 10 3 ~10 -1 Pa (D) 10 -6 ~10 -1 Pa (C) 低压 (D) 溅射率 /