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机电传感技术论文机械电子学论文 机电传感检测技术分析 　　【摘要】现代工程要求传感器能快速、精确地获取信息并能经受 严酷环境的考验，它是机电一体化系统达到高水平的保证。 　　【关键词】机电；传感检测；技术 　　 　　1 机电一体化 　　机电一体化又称机械电子学，英语称为 Mechatronics ，它是由英 文机械学 Mechanics 的前半部分与电子学Electronics 的后半部分组合 而成。现在的机电一体化技术，是机械和微电子技术紧密集合的一门 技术，它的发展使冷冰冰的机器有了人性化，智能化。 　　机电一体化具体包括以下内容：机械技术、计算机与信息技术 系统技术、自动控制技术、传感检测技术。 　　2 传感检测技术 　　传感检测技术是系统的感受器官，是实现自动控制、自动调节的 关键环节。其功能越强，系统的自动化程序就越高。现代工程要求传 感器能快速、精确地获取信息并能经受严酷环境的考验，它是机电一 体化系统达到高水平的保证。 　　检测传感部分包括各种传感器及其信号检测电路，其作用就是检 测机电一体化系统工作过程中本身和外界环境有关参量的变化，并将 信息传递给电子控制单元，电子控制单元根据检查到的信息向执行器 发出相应的控制。 　　国家标准 GB7665-87对传感器下的定义是：“能感受规定的被测 量并按照一定的规律转换成可用信号的器件或装置，通常由敏感元件 和转换元件组成” 。传感器是一种检测装置，能感受到被测量的信息， 并能将检测感受到的信息，按一定规律变换成为电信号或其他所需形 式的信息输出，以满足信息的传输、处理、存储、显示、记录和控制 等要求。它是实现自动检测和自动控制的首要环节。 　　可以用不同的观点对传感器进行分类： 　　按传感器的物理量分类，可分为位移、力、速度、温度、流量 气体成份等传感器。 　　按传感器工作原理分类，可分为电阻、电容、电感、电压、霍尔 光电、光栅、热电偶等传感器。 　　电阻式传感器是将被测量，如位移、形变、力、加速度、湿度 温度等这些物理量转换式成电阻值这样的一种器件。主要有电阻应变 式、压阻式、热电阻、热敏、气敏、湿敏等电阻式传感器件。 　　电阻应变式传感器。传感器中的电阻应变片具有金属的应变效应， 电阻应变片主要有金属和半导体两类，金属应变片有金属丝式、箔式 薄膜式之分。半导体应变片具有灵敏度高（通常是丝式、箔式的几十 倍）、横向效应小等优点。 　　压阻式传感器。压阻式传感器是根据半导体材料的压阻效应在半 导体材料的基片上经扩散电阻而制成的器件。其基片可直接作为测量 传感元件，扩散电阻在基片内接成电桥形式。用作压阻式传感器的基 片（或称膜片）材料主要为硅片和锗片，硅片为敏感材料而制成的硅 压阻传感器越来越受到人们的重视，尤其是以测量压力和速度的固态 压阻式传感器应用最为普遍。 　　热电阻传感器。热电阻传感器主要是利用电阻值随温度变化而变 化这一特性来测量温度及与温度有关的参数。在温度检测精度要求比 较高的场合，这种传感器比较适用。目前较为广泛的热电阻材料为铂 铜、镍等，它们具有电阻温度系数大、线性好、性能稳定、使用温度 范围宽、加工容易等特点。用于测量-200℃～+500℃范围内的温度。 　　按传感器输出信号的性质分类，可分为：输出为开关量的开关型 传感器；输出为模拟量的模拟型传感器；输出为脉冲或代码的数字型 传感器。 　　按传感器材料分类：可分为金属、聚合物、陶瓷、混合物传感器。 　　按传感器制造工艺分类：可分为集成传感器、薄膜传感器、厚膜 传感器、陶瓷传感器。 　　集成传感器是用标准的生产硅基半导体集成电路的工艺技术制 造的。通常还将用于初步处理被测信号的部分电路也集成在同一芯片 上。 　　薄膜传感器是通过沉积在介质衬底(基板)上的，相应敏感材料的 薄膜形成的。使用混合工艺时，同样可将部分电路制造在此基板上。  　　厚膜传感器是利用相应材料的浆料，涂覆在陶瓷基片上制成的， 基片通常是 Al2O3制成的，然后进行热处理，使厚膜成形。 　　陶瓷传感器采用标准的陶瓷工艺或其某种变种工艺(溶胶-凝胶等) 生产。 　　完成适当的预备性操作之后，已成形的元件在高温中进行烧结。 厚膜和陶瓷传感器这二种工艺之间有许多共同特性，在某些方面，可 以认为厚膜工艺是陶瓷工艺的一种变型。 　　每种工艺技术都有自己的优点和不足。由于研究、开发和生产所 需的资本投入较低，以及传感器参数的高稳定性等原因，采用陶瓷和 厚膜传感器比较合理。 　　3 机器视觉技术 　　采用机器代替人眼来做测量和判断的