第5章 硅电容式微传感器解读.pptVIP

第 5 章 硅电容式微传感器 ? 硅是一种半导体，在元素周期表中处于 金属和非金属之间。 ? 平板电容器的公式： 5.1 典型传感器结构及工作原理 ? 目前实际应用的典型硅电容式微传感器 有微型硅加速度计、硅集成压力传感器 和 CMOS 集成电容湿度传感器。 5.1.1 微型硅加速度计 ? 微型硅加速度计是一种新颖的加速 度传感器，它采用硅单晶材料，采 用微机械加工工艺实现。 ? 其结构主要有梁 - 质量块结构以及叉 指电容式结构。 ⒈梁 - 质量块式结构 图 5-1 加速度传感器工作原理图 ⒉叉指式结构 图 5-2 微电容加速度计的结构示意图 图 5-3 叉指式差分电容式加速度传感器的工作原理 常见微梁 图 5-4 单梁叉指结构图 图 5-5 双梁叉指结构图 图 5-6 四梁叉指结构图 图 5-7 ADXL 系列微机械电容式加速度传感器 图 5-8 ADXL05 内部功能方块图及基本接法 表 5-1 ADXL05 主要性能 5.1.2 硅集成压力传感器 ? 电容式压力传感器是继压阻式压力传感器之后，新发 展起来的一种压力传感器，它被广泛地应用于各个领 域，与压阻式压力传感器相比，具有以下特点： ? ①小功率、高阻抗电容传感器电容量很小，一般为几 十到几百微微法，因此具有高阻抗输出； ? ②小的静电引力和良好的动态特性，电容传感器极板 间的静电引力很小，工作时需要的作用能量极小，并 且它有很小的可动质量，因而有较高的固有频率和良 好的动态响应特性； ? ③本身发热很小，对测量结果影响可以不计； ? ④可进行非接触测量。 （ a ）原理图 （ b ）结构图 图 5-9 CP7 电容式压力传感器原理图 5.1.3 CMOS 集成电容湿度传感器 ? 电容型湿度传感器一般有两类： ? ①直接感湿，即直接将大气作为电介质 材料。 ? ②间接感湿，即利用其他电介质材料吸 附大气中的水汽，从而导致电介质材料 介电常数随空气湿度变化 ⒈湿度传感器的感湿介质和结构 ? ⑴感湿介质 ? 常用的湿度传感器感湿介质主要有：多 孔硅，聚酰亚胺和空气。 ? ⑵电容湿度传感器的结构 ? 电容型湿度传感器的结构通常可以分为 两种：①三明治型，如图 5-10 （ a ）、 （ b ）所示；②平铺型，如图 5-10 （ c ） 所示。 （ a ） （ b ） （ c ） 图 5-10 电容湿度传感器结构 ⒉湿度传感器实例 ? ⑴平铺叉指型 图 5-11 平铺叉指结构 ⑵三明治叉指型结构 图 5-12 三明治叉指结构 5.2 设计、建模与仿真 ? 系统设计包括两个方面，即微传感器设 计与系统电子线路设计两大部分。 ? 对于一个机电混合系统来讲，这两部分 的设计是密不可分的，任何孤立的单方 开发都无助于整个系统的最终形成。 5.2.1 硅微加速度传感器设计 ? ①柔韧性设计原则 ? ②强度设计原则 ? ③同向性原则 ? ④灵敏性设计原则 ? ⑤弹性线性设计原则 ⒈梁 - 质量结构设计 图 5-13 梁 - 质量块结构 5.2.2 硅集成压力传感器设计 图 5-14 硅电容敏感器件结构图 圆膜挠度计算 5.2.3 等效电学模型 图 5-15 微机械加速度传感器的等效电路