二氧化钛的结构、性质与应用.pdfVIP

目 录 第一章 绪 论???????????????????????????????????????????????????????????? 1 § 1.1 理论研究概况???????????????????????????????????????????? 2 § 1.2 二氧化钛的结构、性质与应用???????????????????????9 § 1.3 本论文的选题原因???????????????????????????????????????13 第二章 镀膜设备和薄膜制备的基本程序???????????????????????15 § 2.1 射频磁控溅射设备??????????????????????????????????????15 § 2.2 薄膜制备的基本程序???????????????????????????????????17 第三章 二氧化钛的结构与相变????????????????????????????????????18 § 3.1 薄膜制备???????????????????????????????????????????????????18 § 3.2 不同参数下薄膜相结构的变化??????????????????????20 第四章 纳米TiO2 薄膜的Raman 光谱与结构??????????????????27 § 4.1 喇曼光谱测量原理??????????????????????????????????????27 § 4.2 金红石与锐钛矿相结构的Raman 光谱特征?????28 § 4.3 薄膜的喇曼光谱分析???????????????????????????????????30 第五章 界面电子转移对纳米TiO2 薄膜电学性质的影响???40 § 5.1 纳米TiO2 薄膜电学性质的测量?????????????????????40 § 5.2 NiMnCo-纳米TiO2 薄膜二极层的研究????????????43 § 5.3 高掺杂Si-纳米TiO2 薄膜二极层的研究??????????46 第六章 薄膜光学性质的研究???????????????????????????????????????50 结 论??????????????????????????????????????????????????????????????????55 参考文献?????????????????????????????????????????????????????????????????56 致 谢??????????????????????????????????????????????????????????????????60 附中英文摘要 第一章 绪 论 能源、材料、信息科学是新技术革命的先导和支柱。当前，人类 所面临的问题是物质资源的日益缺乏，为了自身的生存，现在对新材 料、新能源开发要求越来越紧迫，因此新材料的开发应当是科学研究 领域的重点之一。作为特殊形态材料的薄膜，已成为微电子、信息、 传感器、光学、太阳能利用等技术的基础，并广泛渗透到当代科技的 各个领域，在新材料发展最活跃的一些领域，无一不和薄膜科学与技 术的迅速发展有关。70~80 年代由于真空技术、薄膜材料与技术和表 面物理相结合，促进了薄膜科学与技术的迅速发展，也推动了薄膜产 品的开发与应用。目前薄膜科学与技术正在日新月异地向前发展。 薄膜技术既是综合性的应用科学，又涉及到许多跨学科的理论基 础，近年世界薄膜产业飞速崛起，因而薄膜材料的研究既具很强的理 论意义又有广泛的应用价值。 薄膜的制备技术主要有电镀、热氧化、化学气相沉积（CVD ）和 物理气相沉积（PVD ）等。在本论文的工作中，利用 PVD 技术中的 反应磁控溅射方法，着重研究二氧化钛（TiO ）薄膜在各种沉积环境 2 下相结构的变化和在二极层内及附近不同厚度、不同基底上界面结构 变化及其具有的电学和光学性质，从实验上确认了相结构的变化规律 及两种不同材料在满足一定条件时，它们