XPS分峰地分析报告实例.pdfVIP

标准实用 材料 Ｘ射线光电子能谱数据处理及分峰的分析实例 7 2 例：将剂量为 1 10 ions/cm ，能量为 45KeV 的碳离子注入单晶硅中，然后在 1100C 退火 2h 进行热处理。 对单晶硅试样进行 XPS 测试，试对其中的 C1s 高分 辨扫瞄谱进行解析，以确定各种可能存在的官能团。 分析过程： 1 、在 Origin 中处理数据 图 1 将实验数据用记事本打开，其中 C1s 表示的是 C1s 电子，299.4885 表示起 始结合能， -0.2500 表示结合能递减步长， 81 表示数据个数。从 15842 开始表 示是光电子强度。从 15842 以下数据选中 Copy 到 Excel 软件 B 列中，为光电 文案大全