上海集成电路半导体及泛半导体高端装备研制项目环评报告书.pdfVIP

理想万里晖公司拟租赁临港重装备产业区内江山路2699 弄翡翠园3#厂房，建设“集 成电路半导体及泛半导体高端装备研制项目”（以下简称“本项目”），主要从事PECVD （等离子体增强化学气相沉积）设备的生产及其工艺研发实验：年生产PECVD 设备53 台；工艺研发实验包括①以PECVD 设备为基础的工艺研发实验，②以高效异质结晶体 硅太阳能电池实验线为基础的工艺研发实验，年使用玻璃片300 片、硅片10000 片。 1.2 项目特点 （1）工程特点：本项目PECVD 设备的生产主要为组装和物理调试，零部件均外包 加工和采购。工艺研发实验属小试规模，用于获得更优的PECVD 设备参数，为PECVD 设备生产所服务，实验采用设备基本为一体化高端设备，密闭性较好。 （2 ）环境特点：项目所在地位于临港重装备产业区内，最近的环境保护目标为东 北侧750m 处的汇角村。 1.3 环评文件判定 本项目从事 PECVD 设备的生产和工艺研发实验。根据《国民经济行业分类》 （GB/T4754-2017 ），行业类别及代码属于“C3599 其他专用设备制造”和“M7320 工程 和技术研究和试验发展” 。对照 《建设项目环境影响评价分类管理名录》（环境保护部 令第44 号）、《关于修改建设项目环境影响评价分类管理名录部分内容的决定》（生 态环境部令第 1 号）及《建设项目环境影响评价分类管理名录上海市实施细化规定 （2018 版）》（沪环规[2018]4 号），本项目PECVD 设备生产属于 “二十四、专用设 备制造业”“70 专用设备制造及维修”中的 “仅组装的”，应填报环境影响登记表；工 艺研发实验属于“三十七、研究和试验发展”，“107 专业实验室”中的“涉及生物、 化学反应的；涉及环境敏感区的”，应编制环境影响报告表。综上所述，本项目应编制 环境影响评价报告表。 根据《本市环境影响评价制度改革实施意见》（沪府规[2019]24 号）的有关规定， 本市建设项目实施分类管理，区分重点项目和一般项目，实行差别化的环境影响评价审 批管理。对照 《上海市生态保护红线》，本项目所在地不在本市生态红线范围内。本项 目工艺研发实验中涉及使用酸洗，对照《上海市建设项目环境影响评价分类管理重点行 业名录 （2019 年版）》，属于“七、其他”中“有酸洗或有机溶剂清洗工艺的项目”， 属于重点项目。 2 2 建设地点及周边环境 本项目位于临港重装备产业区内江山路2699 弄翡翠园3#厂房，四周情况如下： 东侧：空地（规划工业地块），以东为天骄路； 南侧：翡翠园6#厂房； 西侧：翡翠园2#厂房； 北侧：翡翠园北侧边界，以北为江山路。 本项目所在翡翠园四周情况如下： 东侧：天骄路，路东为科尼港口机械(上海)有限公司和安捷防火电缆公司； 西侧：层林路，路西为曼隆蒂森克虏伯电梯有限公司和空地； 南侧：飞舟路，路南为在建工地及空地； 北侧：江山路，路北为为临港新兴产业园和普罗新能源。 N 临港新兴产业园 普罗新能源 翡翠园 110kV远征 科尼港口 变电站 本项目 1#厂房 2#厂房 机械(上 （3#厂房） 海)有限 公司 4#厂房 5#厂房 6#厂房 7#厂房 8#厂房 9#厂房