第三章 功能薄膜材料.pptVIP

主要种类：工业类用传感器和生物医学用传感器 环境友好型 工业用传感器分： ①生产技术用（工业生产所必需的环境、气 氛条件的监视、控制等）； ②生活保证用（工业生产中生活环境、气氛 条件的监视、控制等） 生物医学用传感器： ①医疗活动及医疗生活的支援； ②为保证及维持上述所需的环境、气氛等应 进行的监视、控制等 在材料科学领域需要开发三种材料： ①舒适材料； ②前沿环境材料 ③环境协调材料 举例：热释电型红外线传感器，利用随温度变化材 料表面产生电荷的现象（热释电效应），由红外 线能量转变为热能，并以电荷（输出电压）的方 式检出。可广泛用于非接触式温度计进行流动人 群体温测量，检测人及动物的位臵、动作及活动 等 常用材料： LiTaO 3 、 Pb 1-x ZrxTi 1-x/4 O 3 (PZT)· PbTiO 3 · Pb 1-x LaxTi 1- x/4 O 3 (PLT) 五、集成光学器件 1 、集成光波导和光学器件 集成光学器件中用来传输光信号的基本元件 是光波导，其基本形式由衬底、光的传输 层以及反射层三层结构所组成。 2 、集成光学器件材料 集成光路用材料的基本要求：①具有某些功能，或 者不仅能产生光、接收光、传输光和控制光，而 且还能制作各种回路。前者可以作成单功能或某 些功能的集成光路，后者可以在同一基板上做成 多功能的光电集成回路；②材料要具有一定的折 射率，光波导的折射率比基板的折射率高大约 10- 3 ～ 10-1 ；③材料做成薄膜光波导后，在使用波长 范围内的传输损耗必须低于 1dB/cm ；④便于制作 波导及器件，所制成元器件在外界各种工作环境 下性能稳定。 所用材料分三类： ①以 GaAs 为基础形成的光电子材料，包括 AlGaAs 、 InP 、 GaInasP 等它们是一般制作 光电子器件常采用的材料 ②以 LiNbO 3- - 钙钛矿结构为代表的具有特殊电 光性质的单晶材料；波导形成方法：外扩 散、内扩散、质子交换和离子注入等 ③包括了各种多晶和非晶态的物质，如氧化 物、玻璃以及聚合物等 陶瓷薄膜功能材料 薄膜材料的定义 当固体或液体的 一维线性尺度 远远小于它的其他二维 尺度时 薄 膜 固体薄膜 液体薄膜 厚膜 (1u) 薄膜 (1u) 纳米薄膜 本课程关注的仅是沉积在固体表面上的固态陶瓷薄膜 ? 薄膜材料在现代科学技术中应用十分广 泛，制备薄膜材料的技术发展也十分迅 速。 ? 制膜的方法 ---- 分为 物理 和 化学 两大类 ? 具体方式上，又分 干法 ， 湿法 和 喷涂 ， 而每种方式又可分为多种方法。 薄膜材料的分类（ 按材质分 ） 1. 金属薄膜材料（结构性，功能性） 2. 无机、陶瓷薄膜材料（结构性，功能性） 3. 有机、聚合物薄膜材料 4. 半导体薄膜材料 薄膜材料的分类（ 按功能分 ） ? 力功能薄膜材料 ( 超硬薄膜材料 超润滑薄膜材料 ) ? 磁功能薄膜材料 ( 高透磁率薄膜材料 巨磁阻薄膜材料 ) ? 光功能薄膜材料 ( 红外反射薄膜材料 隐身薄膜材料 ) ? 电功能薄膜材料 ( 超导薄膜材料 ) 薄膜材料的应用 一、表面改性 二、耐磨及表面防护涂层 三、能量变换薄膜与器件 四、传感器 五、集成光学器件 六、磁记录薄膜和光存储薄膜 一、表面改性 1 、表面改性的定义 就是在保护块状材料固有特性的优点基 上，仅对表面进行加工处理使其产生新的物 理、化学特性以及所需要的功能的各种方 法，统称表面改性。 表面改性不仅可以提高经济效益，而且 对于节省资源、能源、开发材料新功能，提 高可靠性，实现轻薄短小化等都具有十分重 要的意义。 2 、表面改性的手段 （ 1 ）表面处理技术（形成表面改性层） 通过物理的或化学的手段，在物质表面层中 引入反应成分，形成混合相或合成相，从 而产生新的功能和材料特性。 （ 2 ）膜沉积技术（形成复合多层膜） 在基体材料表面析出或沉积有别于基体材料 的膜层，从而显示新的功能和材料特性。 3 、用于表面改性的主要方法 3.1 用于表面改性的处理技术 离子注入、等离子体表面处理、激光表面 处理 3.2 利于薄膜沉积的技术 PVD 法、 CVD 法 二、耐磨及表面防护涂层 1 、硬质涂层 主要用途：各种切削刀具、模具、工具 和摩擦零件，比如 TiN 和 TiC 涂层。 主要组成：基底（合金） + 涂层（陶瓷） 主要制备方法： CVD 和 PVD （蒸发、溅射、 离子镀） 切削刀具、模具 以 TiN 镀层对各种刀具为例 (1) 齿轮切削刀具 ， 主要是滚齿刀和插齿刀 据统计，国外汽车制造业所用的滚刀至少有 30%-40% 是已镀 TiN 膜的。 Barber-Colman 公司使用 Balzers