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非制冷红外焦平面 杨珂 Page 2 非制冷红外焦平面 一 红外成像的概述 二 非制冷型红外探测器 三 非制冷型红外焦平面阵列原理 Page 3 非制冷红外焦平面 红外成像的概述 红外热成像系统: 能够摄取景物红外辐射分布图像,并将其转换为人眼可 见视图的装置。 电子学组件 红外望远镜 光学机械扫描器 红外探测器组件 软件及相关算法 Page 4 非制冷红外焦平面 红外成像的概述 红外 探测器 光子型红外探测器 非制冷红外探测器 采用窄禁带半导体材料,如 HgCdTe 、 InSb 等, 利用光电效应实现红外光信号向电信号的转换。 因而需要工作在 77K 或更低的温度下。 缺点:体积大,价格昂贵,制备困难,兼容性差 Page 5 非制冷红外焦平面 非制冷红外探测器 根据红外探测器组件的不同,非制冷型热成像仪可分为三类: ? 第一代 热释电摄像机(红外热释电摄像管) ? 第二代 凝视型(非制冷凝视焦平面探测器) ? 第三代 扫描性(非制冷线列焦平面探测器) Page 6 非制冷红外焦平面 非制冷红外探测器 探测器性能的改进 混合式和集成式探测 器的大规模生产 混合式和单片机式 技术 探索期 技术 成熟期 新技术 探索期 非制冷红外成像 的历史与发展 Page 7 非制冷红外焦平面 非制冷红外探测器 非制冷红外探测器利用红外辐射的热效应,由红 外吸收材料将红外辐射能转换成热能,引起敏感元件 温度上升。 敏感元件的某个物理参数随之发生变化,再通过 所设计的某种转换机制转换为电信号或可见光信号。 其核心部件是 红外焦平面阵列( IRFPA ) Page 8 非制冷红外焦平面 非制冷型红外焦平面阵列原理 非制冷 IRFPA 电学读出方式 光学读出方式 热 敏 电 阻 型 热 释 电 型 热 电 堆 型 二 极 管 型 热 电 容 型 应用光 力学效应 的非制冷 IRFPA 基于 F-B 腔 阵列的 非制冷 IRFBA Page 9 非制冷红外焦平面 非制冷型红外焦平面阵列原理 3.1 热敏电阻型 利用热敏电阻的阻值随温度变化来探测辐射的强弱 探测材料: 氧化钒 、非晶硅、钛、钇钡铜氧等 Page 10 非制冷红外焦平面 非制冷型红外焦平面阵列原理 热敏 电阻 型 红外 探测 器 结构 Page 11 非制冷红外焦平面 非制冷型红外焦平面阵列原理 通常 定义红外探测器的响应率 R 为输出信号(电流或电压) 除以输入辐射能量。假定输出信号 ,则 ( 2.1 — 3 ) 式中 是通过探测像素的偏置电流, 是输入辐射能量 又由热能量公式可知: ( 2.1 — 4 ) ( 2.1 — 5 ) S V T R i R i V b b S ? ? ? ? ? b i 0 P ) exp( ) ( 0 t j P P T G dt T d C ? ? ? ? ? ? ? ? 2 1 2 2 0 0 ) 1 ( ) exp( ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? G P C j G t j P T Page 12 非制冷红外焦平面 非制冷型红外焦平面阵列原理 因此,信号电压 ( 2.1 — 6 ) 响应率 ( 2.1 — 7 ) 衡量系统噪声——噪声等效温差( NETD ) 当带有焦平面阵列的成像系统的视场中的大的黑体温 度发生变化时,能引起阵列输出的信噪比以及读出电路信 号产生最小单位的变化,则此温度的变化量即为 NETD 。 2 1 2 2 0 ) 1 ( ? ? ? ? ? ? G P R i V b s 2 1 2 2 0 ) 1 ( ? ? ? ? ? ? ? G R i P V b s R Page 13 非制冷红外焦平面 非制冷型红外焦平面阵列原理 3.2 热释电型 红外辐射使材料温度改变,引起材料的自发极化强度变 化,在垂直于自发极化方向的两个晶面出现感应电荷。 通过测量 感应电荷量 或 电压的大小 来探测辐射的强弱 探测材料
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