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与被测液位hx成线性关系。 2r2 2r1 h hx 第四节 电容式检测元件 第四节 电容式检测元件 等效电路 在低频率或在高温高湿条件下 ，电容的等效电路为 电容检测元件等效电路 第四节 电容式检测元件 三、电容式检测元件的温度补偿及抗干扰问题 电容式检测元件的温度补偿 消除寄生电容的影响 1．电容式检测元件的温度补偿 温度变化使传感器内各零件的几何尺寸和相互位置发生改变，从而改变传感器的电容量,产生温度误差。 温度变化使某些介质的介电常数发生改变，从而改变传感器的电容量，产生温度误差。 必须从选材、结构、加工工艺等方面来减小温度等误差。 这种误差虽可用后接的电子电路加以补偿，但无法完全消除。 第四节 电容式检测元件 寄生电容与传感器电容相并联，影响传感器灵敏度，而它的变化则为虚假信号影响仪器的精度，必须消除和减小它。 2．消除和减小寄生电容的影响 第四节 电容式检测元件 （1）增加传感器原始电容值 （2）集成化 （3）采用“驱动电缆”(双层屏蔽等位传输)技术 （4）整体屏蔽法 第四节 电容式检测元件 （1）增加传感器原始电容值　　 采用减小极片或极筒间的间距(平板式间距为0.2mm，圆筒式间距为0.15mm)，增加工作面积或工作长度来增加原始电容值，但受加工及装配工艺、精度、示值范围、击穿电压、结构等限制。一般电容值变化在 10-3~103 pF范围内。 第四节 电容式检测元件 （2）集成化　　 将传感器与测量电路本身或其前置级装在一个壳体内，省去传感器的电缆引线。这样，寄生电容大为减小而且易固定不变，使仪器工作稳定。但这种传感器因电子元件的特点而不能在高、低温或环境差的场合使用。 第四节 电容式检测元件 当电容式传感器的电容值很小，而因某些原因(如环境温度较高)，测量电路只能与传感器分开时，可采用“驱动电缆”技术。 （3）“驱动电缆”(双层屏蔽等位传输)技术 采用这种技术可使电缆线长达10m之远也不影响仪器的性能。 第四节 电容式检测元件 传感器与测量电路前置级间的引线为双屏蔽层电缆，其内屏蔽层与信号传输线(即电缆芯线)通过增益为1的放大器成为等电位，从而消除了芯线与内屏蔽层之间的电容。 “驱动电缆”技术 第四节 电容式检测元件 由于屏蔽线上有随传感器输出信号变化而变化的电压，因此称为“驱动电缆”。 外屏蔽层接大地或接仪器地，用来防止外界电场的干扰。 当电容式传感器的初始电容值很大(几百μF)时，只要选择适当的接地点仍可采用一般的同轴屏蔽电缆，电缆可以长达10m，仪器仍能正常工作。 第四节 电容式检测元件 内外屏蔽层之间的电容是1:1放大器的负载。1:1放大器是一个输入阻抗要求很高、具有容性负载、放大倍数为1(准确度要求达1/10000)的同相(要求相移为零)放大器。因此“驱动电缆”技术对1:1放大器要求很高，电路复杂，但能保证电容式传感器的电容值小于1pF时，也能正常工作。 第四节 电容式检测元件 将电容式传感器和所采用的转换电路、传输电缆等用同一个屏蔽壳屏蔽起来，正确选取接地点可减小寄生电容的影响和防止外界的干扰。 （4）整体屏蔽法　 第四节 电容式检测元件 C1和C2构成差动电容传感器，与平衡电阻Z1和Z2组成测量电桥，Cp1和Cp2为寄生电容 。 交流电桥的整体屏蔽 第四节 电容式检测元件 屏蔽层接地点选择在两平衡电阻阻抗臂Z1和Z2中间，使电缆芯线与其屏蔽层之间的寄生电容Cp1和Cp2分别与Z1和Z2相并联。如果Z1和Z2比Cp1和Cp2的容抗小得多，则寄生电容Cp1和Cp2对电桥平衡状态的影响就很小。 第四节 电容式检测元件 交流电桥的整体屏蔽 电容式传感器的应用 电子技术的发展，解决了电容式传感器存在的许多技术问题，使电容式传感器不但广泛应用于精确测量位移、厚度、角度、振动等物理量，还应用于测量力、压力、差压、流量、成分、液位等参数，在自动检测与控制系统中也常常用来作为位置信号发生器。 第四节 电容式检测元件 电容式差压传感器 差动型 凹玻璃圆片 弹性膜片(动电极) 固定电极 P 例1 电容式压差传感器 P 弹性膜片(动电极) 固定电极 电容式压力传感器 单只变间隙型 第四节 电容式检测元件 例2 电容式称重传感器 电容式称重传感器 第四节 电容式检测元件 电容式称重传感器 电容式称重传感器 F 在弹性钢体上高度相同处打一排孔，在孔内形成一排平行的平板电容，当称重时，钢体上端面受力，圆孔变形，每个孔中的电容极板间隙变小，其电容相应增大。由于在电路上各电容是并联的