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磁电式传感器 机械能 电 量 根据电磁感应定律，导体和磁场发生相对运动时，在导体两端有感应电动势输出；磁电感应式检测元件就是利用电磁感应定律，实现将运动速度、位移等物理量转换成线圈中的感应电动势输出。 第八节 磁电式检测元件 电磁感应定律：对于N匝线圈，当穿过线圈的磁通Φ变化时，线圈内产生感应电动势e的大小与与穿过线圈的磁通Φ变化率有关。 工作原理 第八节 磁电式检测元件 根据工作原理，磁电感应式检测元件的主要结构形式分两种类型 恒定磁通式（恒磁阻式） 变磁通式（变磁阻式） 第八节 磁电式检测元件 工作气隙中磁通不变，线圈中的感应电势由线圈相对永久磁铁运动并切割磁力线产生。 1.恒磁阻式检测元件 第八节 磁电式检测元件 （1）线速度型——动圈式 永久磁铁 线圈 弹簧 1.恒磁阻式检测元件 第八节 磁电式检测元件 （1）线速度型——动铁式 第八节 磁电式检测元件 线圈相对磁场作旋转运动,并切割磁力线，感生电势为： A： 每匝线圈的截面积 θ：线圈平面法线方向与磁场方向之间的夹角 ω: 线圈与磁场之间的相对运动角速度 θ=900 1-永久磁铁 2-线圈 3-运动部分 （2）角速度型 第八节 磁电式检测元件 线圈、磁铁静止不动，测量齿轮安装在被测旋转体上，随被测体一起转动来改变磁路的磁阻，引起磁通量变化，从而在线圈中产生感应电动势。 2、变磁阻式检测元件 （1）开磁路变磁阻式 1一永久磁铁 2一软磁铁， 3一感应线圈 4一测量齿轮 开磁路式转速检测元件结构原理 第八节 磁电式检测元件 当转轴连接到被测转轴上时，外齿轮不动，内齿轮随被测轴而转动，内、外齿轮的相对转动使气隙磁阻产生周期性变化，从而引起磁路中磁通的变化，使线圈内产生周期性变化的感应电动势。 感应电势的频率与被测转速成正比。 2、变磁阻式磁电传感器 （2）闭磁路变磁阻式 第八节 磁电式检测元件 磁电感应式检测元件相当于一个电源 3.磁电感应式检测元件的等效电路 第八节 磁电式检测元件 检测元件的电流灵敏度Si和电压灵敏度Sv为： 第八节 磁电式检测元件 当磁电感应式检测元件工作温度发生变化，或受到外磁场干扰，或受到机械振动或冲击时，其灵敏度都将发生变化而产生测量误差，其相对误差为 第八节 磁电式检测元件 4.磁电感应式检测元件的误差分析 （1）温度误差 （2）永久磁铁的不稳定性误差 （3）磁电式传感器的非线性误差 第八节 磁电式检测元件 通电的导体（半导体）垂直放在磁场中，导体在垂直于电流I与磁场B方向上会产生感应电动势，这种现象称为霍尔效应。 第八节 磁电式检测元件 2.8.2 霍尔检测元件 霍尔效应 在与磁场垂直的半导体薄片上通以电流I，假设载流子为电子(N型半导体材料)，它沿与电流I相反的方向运动，由于洛仑兹力fL的作用，电子将向一侧偏转，并使该侧形成电子的积累，而另一侧形成正电荷积累，于是元件的横向便形成了电场。该电场阻止电子继续向侧面偏移，当电子所受到的电场力fE与洛仑兹力fL相等时，电子的积累达到动态平衡。这时在两横端面之间建立的电场称为霍尔电场EH，相应的电势称为霍尔电势UH。 霍尔电势的产生 第八节 磁电式检测元件 在磁场作用下导体中的自由电子做定向运动。 每个电子受洛仑兹力作用被推向导体的另一侧： 霍尔电场作用于电子的力 霍尔电场 当两作用力相等时电荷不再 向两边积累达到动态平衡： a a a ——霍尔电势 第八节 磁电式检测元件 霍尔电势与电流和磁场强度的关系： 通过（半）导体薄片的电流I与下列因素有关： 载流子浓度n，电子运动速度v，导体薄片横截面积 a*d， e 为电子电荷量。 代入后： 与材料有关 霍尔常数 霍尔电势与电流和磁场强度的乘积成正比 与薄片尺寸有关，厚度越小， 灵敏度越高。 霍尔灵敏度 ad a 第八节 磁电式检测元件 特性： 电流恒定时：U-B在一定范围内保持线性 磁场恒定时：U-I保持良好线性关系 内阻-----磁场关系 第八节 磁电式检测元件 霍尔集成器件： 霍尔线性集成器件 霍尔开关集成器件 第八节 磁电式检测元件