半导体气体特性及系统介绍演示幻灯片.pptVIP

半导体气体特性介绍 1. Bulk Gas 大宗气体 2. Specialty Gas 特气 一 . 大宗气体供应系统 - Bulk Gas Supply System ? 1. 什麼是大宗氣體 : 一般指用量較大的氣體 , 無色無味無臭 , 但仍有潛在 的危險 ( 部分具窒息性 ) . * CDA(UCCA) / IA – 壓縮乾燥空氣 / 儀器推動空氣 / 呼吸用空氣 * HPCDA (HCDA) – 高壓壓縮乾燥空氣 * GN2 - 一般氮氣 * PN2 - 純化氮氣 * PHE - 純化氦氣 * PAR - 純化氬氣 * PO2 - 純化氧氣 * PH2 - 純化氫氣 ? 2. 主要用途介紹 : * CDA – 作為 Fab 中氣動設備 ( 如 Pump ) 的氣源 及 吹淨 ( Purge ) 作為 Local Scrubber 助燃的氣源 * IA – 作為廠務系統氣動設備的氣源 及 吹淨 ( Purge ) * HPCDA – 黃光區 Scanner 機台專用 ( 移動平台 / 使 Filter 緊靠 ) * GN2 / PN2 - 作為部分氣動設備氣源 及 提供惰性的氣體環境 Pn2 主要的功能為 吹淨 ( Purge ) * PO2 - 提供製程中氧化的作用 * PAR – 作為製程中濺渡的傳導介質 * PHE - 作為製程中冷卻晶片的氣源 * PH2 - 提供燃燒 , 烘烤的作用 及其他反應 二 . 特殊氣體供應系統 - Specialty Gas Supply System ? 1. 什麼是特殊氣體 : 一般指用量小 , 極少用量便會對人體造成生命威 脅 的氣體 特殊氣體分類大致如下 — * 易燃性氣體 Flammable Gas * 毒性氣體 Toxic Gas * 腐蝕性氣體 Corrosive Gas * 低壓性 / 保溫氣體 Heat Gas * 惰性氣體 Inert Gas ? 3. 气体标签的颜色簡介 : * CDA 白色 * GN2 PN2 橘红色 * PO2 黑色 * PHe PAr 绿色 * PH2 红色 * 氧化性气体 : 黑色 如 O3 * 易燃性氣體 : 红色 如 SIH4 , PH3 , H2 ,…. * 毒性氣體 : 红色 如 CO, NO,CLF3,…. * 腐蝕性氣體 : 如 NH3, SIF4,CL2,…. * 惰性氣體 : 绿色 如 SF6 , C4F8 , N2O , …. ? 2. 特殊氣體特性簡介 : * 易燃性氣體 : 燃點低 , 一洩漏與其他氣體相混 , 便易引起爆炸及燃燒 如 SIH4 , PH3 , H2 ,…. * 毒性氣體 : 反應性極強 , 強烈危害人體功能 , 如 CO, NO,CLF3,…. * 腐蝕性氣體 : 易與水份起反應而產生酸性物質 , 有刺鼻 , 腐蝕 , 破壞人體的危險 性 如 NH3, SIF4,CL2,…. * 低壓性 / 保溫氣體 : 屬黏稠性液態氣體 , 需包 加熱線 及 保溫棉 , 將管內的溫度升 高以使其氣化 , 才能充分供應氣體 , 如 WF6, BCL3 , DCS,…. * 惰性氣體 : 又稱窒息性氣體 , 當洩漏出的量使空氣中含氧量減少至 16%~6% 以 下時 , 便會影響人體 , 甚至死亡 , 如 SF6 , C4F8 , N2O , …. 标签的粘贴方式 气体标签 1. 气体标签内容要与管道内气体一致； 2. 气体标签的方向要与气体走向一致； 3. 气体标签粘贴，要符合以下规定： 4. 1 ）在直管段每 2 米一个 ; 5. 2 ）弯头两头应贴标签； 6. 3 ）与原有系统的标签位置平齐； 7. 4 ） 在机台 POU 处、阀箱进口、 VMB 出口、 VMP 出口、 阀 前和阀后、上 IC 洞口处要有气体标签 ; 8. 5) 粘贴气体标签要以易看见为标准；如：在高处水平管道 的标签应贴在管道下半圆两侧 90 度范围内。 9. 6) 粘贴标签要美观 , 保证标签与管道平行 , 居中 , 无残缺 , 褶皱 , 翘曲 机台名标签 1. 机台名标签内容要与管道所属机台一致； 2. 机台名标签的方向要与气体走向一致； 3. 机台名签粘贴，要符合以下规定： 4. 1 ）在连接 takeoff piont 水平管道正下部、 VMBVMP 面 板上管道左侧要有机台名标签 ; 5. 2) 粘贴标签要美观 , 保证标签与管道平行 , 居中 , 无残缺 , 褶皱 , 翘曲 ;